鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司夏炜炜获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种冲洗甩干机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520719839.4，技术领域涉及：H10P70/00；该实用新型一种冲洗甩干机是由夏炜炜;潘芹设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冲洗甩干机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种冲洗甩干机，包括腔体，腔体内具有氮气干燥装置，述氮气干燥装置具有一个或多个吹风口，所述腔体内设有调整机构，所述调整机构用于引导氮气干燥装置沿晶圆排列方向吹扫；通过上述技术方案，能够改变了氮气吹送方向，氮气能够斜向吹扫晶圆表面，而不会被支撑固定晶圆的支撑架遮挡，从而能够将晶圆干燥的更彻底。
本实用新型一种冲洗甩干机在权利要求书中公布了：1.一种冲洗甩干机，包括腔体，所述腔体内设置有氮气干燥装置，其特征在于，所述氮气干燥装置具有吹风口，所述吹风口内设有调整机构，所述调整机构用于引导氮气干燥装置沿晶圆排列方向吹扫；所述调整机构包括风片和控制组件，所述风片活动连接在所述腔体内且位于所述吹风口处，所述控制组件与风片传动连接，所述控制组件用于调节所述风片，使得所述风片沿晶圆排列方向摆动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山市周市镇横长泾路188号1号车间南边1层、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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