鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司夏炜炜获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种双腔冲洗甩干机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520777941.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种双腔冲洗甩干机是由夏炜炜;潘芹设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双腔冲洗甩干机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双腔冲洗甩干机，包括腔体，腔体底部设置有排水槽，腔体内设有加热组件和导风组件，加热组件位于腔体的底部且不接触清洁液，加热组件加热后气体，通过导风组件引导，最后使干燥气体置换腔体内的气体。本实用新型通过设置加热组件和导风组件，在腔体的中下部在晶圆清洗完成后通入热的气体，然后再排出去，气体在腔体内流转的过程中，能够将腔体中下部的气体升温，升温的同时也能够将湿气从腔体内带走，最后达到快速干燥。
本实用新型一种双腔冲洗甩干机在权利要求书中公布了：1.一种双腔冲洗甩干机，包括腔体，所述腔体底部设置有排水槽，其特征在于：所述腔体内设有加热组件和导风组件，所述加热组件位于所述腔体的底部且不接触清洁液，所述导风组件通过干燥气体置换所述腔体内的气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山市周市镇横长泾路188号1号车间南边1层、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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