东莞市晟鼎精密仪器有限公司冼健威获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利用于晶圆快速退火的EFEM装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124538U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520879611.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型用于晶圆快速退火的EFEM装置是由冼健威;侯振健;汤洛颖设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆快速退火的EFEM装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆快速退火的EFEM装置，包括机架模组、安装于机架模组内部的晶圆机器人、可拆卸式安装于机架模组并用于供晶圆机器人抓取石墨盒的外置晶舟模组、安装于机架模组并用于对晶圆进行校准的校准装置、安装于机架模组并用于对晶圆进行缓存的缓存平台及安装于机架模组并用于对石墨盒进行开盒的冷却装置。与现有技术相比，通过机架模组集成上料、检测、缓存及冷却工位，提升了设备的集中程度及兼容性；不仅可以缩小设备的整体空间占用，还能缩短整个处理流程所需的时间，进而提升了晶圆的加工效率。
本实用新型用于晶圆快速退火的EFEM装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆快速退火的EFEM装置，其特征在于，包括机架模组10、安装于机架模组10内部的晶圆机器人20、可拆卸式安装于机架模组10并用于供晶圆机器人20抓取石墨盒的外置晶舟模组30、安装于机架模组10并用于对晶圆进行校准的校准装置40、安装于机架模组10并用于对晶圆进行缓存的缓存平台50及安装于机架模组10并用于对石墨盒进行开盒的冷却装置60； 晶圆机器人20位于机架模组10内部中心位置，外置晶舟模组30位于机架模组10前侧和或后侧，校准装置40及冷却装置60位于晶圆机器人20左侧并前后间距设置，缓存平台50位于晶圆机器人20右侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市晟鼎精密仪器有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇新安横中路33号1栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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