香港科技大学(广州)冯雪蒙获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利半导体装备取样装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124566U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202620213293.X，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型半导体装备取样装置是由冯雪蒙;姜红玉;徐巍设计研发完成，并于2026-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体装备取样装置在说明书摘要公布了：本申请公开了半导体装备取样装置，涉及半导体加工技术领域，包括驱动机构、缓冲机构以及至少两个吸头；所述缓冲机构包括至少两个弹性伸缩器；各个所述弹性伸缩器一一对应与所述吸头连接，以使得所述吸头能够弹性活动；所述驱动机构与各个所述弹性伸缩器连接，用于带动各个所述弹性伸缩器相互靠近或远离运动。上述设计通过优化缓冲效果及吸附稳定性，减少样品报废率，提升半导体制造良率；通用性设计及减少换型操作，可提高生产流程的连续性与效率。
本实用新型半导体装备取样装置在权利要求书中公布了：1.半导体装备取样装置，其特征在于，包括驱动机构1、缓冲机构以及至少两个吸头2； 所述缓冲机构包括至少两个弹性伸缩器3； 各个所述弹性伸缩器3一一对应与所述吸头2连接，以使得所述吸头2能够弹性活动； 所述驱动机构1与各个所述弹性伸缩器3连接，用于带动各个所述弹性伸缩器3相互靠近或远离运动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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