江苏微导纳米科技股份有限公司吴围获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224154599U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520937786.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种半导体设备是由吴围;李荣生设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备，半导体设备包括反应腔室、目标抽气管道、蝶阀和微型等离子体发生器。目标抽气管道和反应腔室连接，蝶阀设置在目标抽气管道中，微型等离子体发生器设置于目标抽气管道的目标位置，目标位置位于反应腔室和蝶阀之间。也就是说，微型等离子体发生器设置于目标腔室和蝶阀之间，这样微型等离子体发生器就可以直接在蝶阀附近生成清洁蝶阀的等离子体，从而实现直接对蝶阀进行清洗，避免等离子体从反应腔室到目标抽气管道之间的损失，提高蝶阀的清洗效率，同时利用位于蝶阀附近的等离子体对蝶阀进行均匀清洗，提高蝶阀的清洗效果。
本实用新型一种半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备，其特征在于，所述半导体设备包括反应腔室、目标抽气管道、蝶阀和微型等离子体发生器； 所述目标抽气管道和所述反应腔室连接，所述蝶阀设置在所述目标抽气管道中，所述微型等离子体发生器设置于所述目标抽气管道的目标位置，所述目标位置位于所述反应腔室和所述蝶阀之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214112 江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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