长鑫存储技术有限公司张传洋获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利管道清洁装置及管道清洁方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112974418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911302622.9,技术领域涉及:B08B9/032;该发明授权管道清洁装置及管道清洁方法是由张传洋设计研发完成,并于2019-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本管道清洁装置及管道清洁方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种管道清洁装置及管道清洁方法,本发明中,管道清洁装置,包括:目标管道,以及与目标管道相连接的至少一条进气管道;目标管道的一端与反应腔室相连接;进气管道用于向目标管道输送清洁气体以清洁目标管道;目标管道内设置有挡流装置,挡流装置的挡流面面对进气管道的出气口。通过与目标管道相连的进气管道向目标管道通入清洁气体,并通过挡流装置扰动气流使清洁气体充分地接触目标管道管壁,能够对目标管道进行彻底地清洁,避免目标管道中的残余物污染反应腔室中的样品。
本发明授权管道清洁装置及管道清洁方法在权利要求书中公布了:1.一种管道清洁装置,其特征在于,包括:目标管道,以及与所述目标管道相连接的至少一条进气管道; 所述目标管道的一端与反应腔室相连接; 所述进气管道用于向所述目标管道输送清洁气体以清洁所述目标管道; 所述目标管道内设置有挡流装置,所述挡流装置的挡流面面对所述进气管道的出气口,所述挡流装置可伸缩地设置在所述目标管道的管壁上,适于通过所述目标管道的管壁伸入所述目标管道或从所述目标管道抽出; 第一控制器,用于在对所述目标管道进行清洁时控制所述挡流装置通过所述目标管道的管壁伸入所述目标管道,或在所述反应腔室进行工艺或清洁所述反应腔室时控制所述挡流装置从所述目标管道抽出。
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