上海精测半导体技术有限公司缪晖华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利一种样品传输装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334762B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111511557.8，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种样品传输装置及半导体设备是由缪晖华;李琰琪设计研发完成，并于2021-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种样品传输装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，包括：传送台，用于放置样品；传送杆，与传送台活动结合或分离，传送杆的一端包括定位件，传送台内部构造出置入腔，在置入腔内使定位件进行周向转动和轴向移动，以将定位件在沿轴向移动方向上的前端面或后端面与传送台接触，通过定位件推拉传送台以在腔体内传输样品；限位模块，用于对传送杆限位使传送杆形成阻止作轴向移动的锁止状态，当对传送杆施加周向转动力使定位件转动时，实现定位件在锁止状态与能够驱动传送杆作轴向移动的解锁状态之间切换。本发明还提供一种包括样品传输装置的半导体设备。本发明解决了因静置的传送杆和传送台滑动而导致传送台发生碰撞的问题。
本发明授权一种样品传输装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，其特征在于，包括： 传送台，用于放置样品； 传送杆，与所述传送台活动结合或分离，所述传送杆的一端包括定位件，所述传送台内部构造出置入腔，在所述置入腔内使定位件进行周向转动和轴向移动，以将所述定位件在沿轴向移动方向上的前端面或后端面与传送台接触，通过所述定位件推拉传送台以在腔体内传输样品； 限位模块，用于对所述传送杆限位使传送杆形成阻止作轴向移动的锁止状态，当对所述传送杆施加周向转动力使定位件转动时，实现所述定位件在所述锁止状态与能够驱动传送杆作轴向移动的解锁状态之间切换； 所述限位模块包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件凸设在传送杆上，当所述传送杆作周向转动与轴向移动时，能够将所述第一限位件与第二限位件限位或分离，实现所述定位件在锁止状态与解锁状态之间切换。
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