拓荆科技股份有限公司谈太德获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799123B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211634990.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法是由谈太德;赵聪;姜崴设计研发完成，并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆托盘、一种晶圆托盘的温度控制方法以及一种计算机可读存储介质。上述晶圆托盘包括：托盘本体，至少包括位于中心区域的第一分区，以及位于边缘区域的第二分区；多个第一半导体制冷器，垂直托盘本体径向地设置于托盘本体中，并沿第一分区和或第二分区的边界分布；以及控制器，被配置为：获取第一分区的第一温度及第二分区的第二温度；以及根据第一温度及第二温度的大小，向各第一半导体制冷器提供对应方向和或对应幅值的驱动电压，以控制各第一半导体制冷器在第一分区及第二分区之间进行对应方向的定向热量转移。
本发明授权一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆托盘，其特征在于，包括： 托盘本体，至少包括位于中心区域的第一分区，以及位于边缘区域的第二分区； 多个第一半导体制冷器，垂直所述托盘本体周向地设置于所述托盘本体中，并沿所述第一分区和所述第二分区之间的边界分布；以及 控制器，被配置为：获取所述第一分区的第一温度及所述第二分区的第二温度；以及根据所述第一温度及所述第二温度的大小，向各所述第一半导体制冷器提供对应方向和对应幅值的驱动电压，以控制各所述第一半导体制冷器在所述第一分区及所述第二分区之间进行对应方向的定向热量转移。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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