广东硕成科技股份有限公司李拯黎获国家专利权
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龙图腾网获悉广东硕成科技股份有限公司申请的专利一种晶圆切割保护膜及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116254065B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211103648.2,技术领域涉及:C09J7/24;该发明授权一种晶圆切割保护膜及其使用方法是由李拯黎;曾庆明;宋亦健;王桂莲;赵益梅设计研发完成,并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割保护膜及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及C09J7,更具体地,本发明涉及一种晶圆切割保护膜及其使用方法,晶圆切割保护膜由硅油离型层、聚氯乙烯层、聚酯涂层和胶粘层组成;硅油离型层、聚氯乙烯层、聚酯涂层和胶粘层自上而下涂覆粘接。加入丙烯酸‑2‑羟乙酯,并控制丙烯酸‑2‑羟乙酯在乙酯中的重量百分比为1.65‑1.77%,使得保护膜在应用于晶圆上的时候,不仅具有合适的粘性,使其粘性在100‑150g25mm,既能够保护切割过程中晶圆不易受到损害,使其在加工完成后易剥离,无残胶、鬼影出现,更重要的是,在切割过程中,也不易产生胶丝,间接保证了切割中晶圆片的质量,此外,还使得保护膜具有稳定的韧性等力学性能。
本发明授权一种晶圆切割保护膜及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割保护膜,其特征在于,所述晶圆切割保护膜由硅油离型层、聚氯乙烯层、聚酯涂层和胶粘层组成;硅油离型层、聚氯乙烯层、聚酯涂层和胶粘层自上而下涂覆粘接; 所述胶粘层的原料为胶料、稀释剂和架桥剂;胶料、稀释剂和架桥剂的重量比为77-81:20:0.97-1.85; 所述稀释剂为乙酸乙酯,所述架桥剂为甲苯二异氰酸酯; 胶料的原料为2-5重量份甲酯、220-245重量份乙酯、25-27重量份丁酯、38-45重量份辛酯、1-3重量份丙烯酸、21-23重量份增粘剂和0.15-0.25重量份偶氮二异丁腈; 所述甲酯和丁酯的重量比为2-5:25-27;丁酯和辛酯的重量比为25-27:38-45; 所述增粘剂为苯乙烯; 所述甲酯为甲基丙烯酸甲酯;丁酯为丙烯酸正丁酯;辛酯为丙烯酸辛酯; 所述乙酯为丙烯酸-2-羟乙酯和乙酸乙酯,丙烯酸-2-羟乙酯在乙酯中的重量百分比为1.65-1.77%; 所述聚酯涂层的厚度≥2μm,所述聚酯涂层的酸值为2-4KOHmgg; 所述胶粘层贴在晶圆片的背面,在60-100℃下进行切割。
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