江苏宏芯亿泰智能装备有限公司凌霄获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏宏芯亿泰智能装备有限公司申请的专利Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116281144B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211616502.8,技术领域涉及:B65G47/91;该发明授权Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置是由凌霄;任烨飞;邹福志;王刘洋;周涛设计研发完成,并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置,涉及半导体领域技术领域。该机构包括:基板、Y轴电缸、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘;Y轴电缸固定在基板上,伸缩组件滑动连接在Y轴电缸上,Y轴电缸用于推动伸缩组件前进或后退;传送组件的一端与基板固定连接,传送组件的另一端与Y轴吸盘固定连接,传送组件通过伸缩组件上的定件可活动地设置在伸缩组件上;Y轴吸盘可滑动地设置在伸缩组件上;其中,传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型。本机构基于由传送组件、伸缩组件和Y轴吸盘组成动滑轮运动模型,将Y轴电缸的推动距离扩大2倍,实现了双倍行程的伸缩,解决了现有装置在狭小的空间范围内无法顺利搬运晶圆的问题。
本发明授权Y轴双倍行程机构及晶圆搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种Y轴双倍行程机构,其特征在于,所述机构包括:基板11、Y轴电缸12、伸缩组件、传送组件、Y轴吸盘16; 所述Y轴电缸12固定在所述基板11上,所述伸缩组件滑动连接在所述Y轴电缸12上,所述Y轴电缸12用于推动所述伸缩组件前进或后退; 所述传送组件的一端14-1与所述基板11固定连接,所述传送组件的另一端14-2与所述Y轴吸盘16固定连接;所述伸缩组件上设有定件,所述传送组件可活动地套设在所述定件上;所述Y轴吸盘16可滑动地设置在所述伸缩组件上;其中,所述传送组件、所述伸缩组件和所述Y轴吸盘16组成动滑轮运动模型,所述传送组件为传送带14,所述定件包括至少两个定子件20;所述传送带14围套在所述定子件20上并相对所述定子件20运动,所述机构还包括:第二连接件19,所述第二连接件19的一端与所述传送带14固定连接,所述第二连接件19的另一端与所述基板11固定连接。
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