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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310341994.2，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统是由蒋家欣;舒贻胜;杨奉利;王建玮;陈思乡设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统，该方法包括：接收传感器采集到的线性数据，根据线性数据确定晶圆的缺口位置；线性数据为旋转平台带动晶圆旋转时，传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到；根据晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标；根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置。在旋转平台带动晶圆旋转时，利用传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到线性数据后，根据传感器采集的线性数据确定晶圆的缺口位置，进而结合晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标，根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置，无需进行二次数据采集和处理，提高了晶圆预对位效率。

本发明授权晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预对位方法，其特征在于，包括： 接收传感器采集到的线性数据，根据所述线性数据确定所述晶圆的缺口位置；所述线性数据为旋转平台带动所述晶圆旋转时，所述传感器对所述晶圆的边缘进行数据采集得到； 根据所述晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定所述晶圆的偏心坐标； 根据所述晶圆的偏心坐标将所述晶圆的缺口位置调整至目标位置； 所述根据所述晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定所述晶圆的偏心坐标，包括：以旋转平台的旋转中心为原点建立坐标系；结合所述预设参数和所述晶圆的缺口位置计算得到所述坐标系下晶圆的偏心坐标； 所述预设参数包括旋转平台的旋转角度与传感器测量所得的遮光距离的对应关系，所述旋转中心与所述晶圆的缺口连线偏转设定角度，所述晶圆的缺口位置包括晶圆的缺口距离传感器的角度；所述结合所述预设参数和所述晶圆的缺口位置计算得到所述坐标系下晶圆的偏心坐标，包括： 根据所述设定角度、所述晶圆的缺口距离所述传感器的角度，以及旋转中心的旋转角度与传感器测量所得的遮光距离的对应关系，确定所述坐标系下晶圆的偏心坐标。

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