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龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种用于超长微米级结构的移动式曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116991042B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310792457.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于超长微米级结构的移动式曝光装置是由王国乾;戴成昊;黄程阳;倪受东设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于超长微米级结构的移动式曝光装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于超长微细结构曝光的移动式光刻装置，包括x轴丝杠导轨运动模块、y轴同步带运动模块、z轴精密调节模块、光源对焦模块、控制机构和支撑机构，支撑机构包括台面、立柱、梁和L型连接板，立柱竖直设置于台面上，立柱与梁固定连接；x轴丝杠导轨运动模块固定设置于台面上，y轴同步带运动模块固定于梁上，与L型连接板的一端连接；L型连接板的另一端与z轴精密调节模块固定连接，z轴精密调节模块与光源对焦模块在竖直方向上滑动连接；x轴丝杠导轨运动模块和y轴同步带运动模块均与控制机构电连接。该装置实现了跨尺度微细结构的精准光刻，提高加工效率且所述移动式曝光装置成本较低，易于实现。

本发明授权一种用于超长微米级结构的移动式曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种用于超长微米级结构的移动式曝光装置，其特征在于，包括x轴丝杠导轨运动模块6、y轴同步带运动模块10、z轴精密调节模块11、光源对焦模块12、控制机构200和支撑机构100，所述支撑机构100包括台面5、立柱8、梁9和L型连接板11-1，立柱8竖直设置于台面5上，立柱8与梁9固定连接，梁9与台面5平行；所述x轴丝杠导轨运动模块6固定设置于台面5上，所述y轴同步带运动模块10固定于梁9上，与L型连接板11-1的一端连接，y轴同步带运动模块10长度方向和x轴丝杠导轨运动模块6长度方向在水平面上相互垂直；L型连接板11-1的另一端与z轴精密调节模块11固定连接，L型连接板11-1的直角处设置有连接助板11-2，z轴精密调节模块11与光源对焦模块12在竖直方向上滑动连接；x轴丝杠导轨运动模块6和y轴同步带运动模块10均与控制机构200电连接，控制机构200能够控制x轴丝杠导轨运动模块6沿着x轴丝杠导轨运动模块6长度方向运动，以及控制y轴同步带运动模块10带动z轴精密调节模块11和光源对焦模块12沿着y轴同步带运动模块10长度方向移动；光源对焦模块12内侧设有显微镜12-1和光源12-2； 所述x轴丝杠导轨运动模块6包括第一电机6-1、丝杠导轨副6-2、气浮支撑6-3、曝光平台6-4、菲林版6-7和加工零件6-8，第一电机6-1和丝杠导轨副6-2连接，均固定设置于台面5上，第一电机6-1与控制机构200电连接；气浮支撑6-3设置于丝杠导轨副6-2上，曝光平台6-4设置于气浮支撑6-3上，曝光平台6-4上从下至上依次放置有加工零件6-8和菲林版6-7；通过第一电机6-1能够带动丝杠导轨副6-2移动，从而带动加工零件6-8和菲林版6-7沿着丝杠导轨副6-2的导轨方向移动； y轴同步带运动模块10包括第二电机10-1、同步带10-2和第一连接板10-4，第一连接板10-4与梁9固定连接，同步带10-2设置于第一连接板10-4下侧，与L型连接板11-1的一端连接；第二电机10-1设置于同步带10-2一端，第二电机10-1与控制机构200电连接；通过第二电机10-1能够带动同步带10-2移动，从而带动z轴精密调节模块11和光源对焦模块12移动； 丝杠导轨副6-2的长度设置为1000mm，同步带10-2选用100mm同步带，实现加工零件6-8的连续长距离曝光，所述连续长距离为300mm以上； z轴精密调节模块11包括旋钮11-3、标尺11-4和连接件11-5，旋钮11-3和标尺11-4均与L型连接板11-1的另一端相连，连接件11-5可移动地设置于标尺11-4上，连接件11-5与光源对焦模块12固定连接；通过转动旋钮11-3能够带动连接件11-5在标尺11-4上移动，从而带动光源对焦模块12在竖直方向上移动。

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