中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司高小妍获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利传输轨道及传输系统、轨道的设计方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117558663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210935831.2，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权传输轨道及传输系统、轨道的设计方法及系统是由高小妍;周毅仲;孙俊丽;房小飞;李晓杰设计研发完成，并于2022-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本传输轨道及传输系统、轨道的设计方法及系统在说明书摘要公布了：一种光掩膜版传输轨道及自动化传输系统、光掩膜版传输轨道的设计方法及系统、设备以及存储介质，光掩膜版传输轨道包括：一个或多个横向轨道，沿横向延伸且经过第一类承载模块的上方；多个纵向轨道，横跨多个光刻设备，纵向轨道沿纵向延伸且经过第二类承载模块的上方，多个纵向轨道连接横向轨道的两端，从而不同光刻设备的承载模块均具有对应的传输轨道，同时能够在横向轨道和纵向轨道上的独立运行、互不干扰，且运输车能够在横向轨道和纵向轨道之间形成的回路上绕行，有利于增加运输车的传输路径和自由度，能够减少运输车运行时需经过的弯轨数量，相应有利于增大运输车在光掩膜版传输轨道上的运行速度，进而提高光掩模版在光刻设备间的传输效率。
本发明授权传输轨道及传输系统、轨道的设计方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜版传输轨道，其特征在于， 所述光掩膜版传输轨道悬空设置于光刻设备的上方，用于在多个光刻设备间传输光掩膜版；多个所述光刻设备沿纵向排列设置，所述纵向垂直于横向；每个所述光刻设备包括沿横向依次放置的显影机和曝光机，所述曝光机上设置有相邻的承载模块，所述承载模块用于承载所述光掩膜版；沿横向排列的相邻承载模块用于作为第一类承载模块，沿纵向排列的相邻承载模块用于作为第二类承载模块； 所述光掩膜版传输轨道包括： 一个或多个横向轨道，沿横向延伸且经过所述第一类承载模块的上方； 多个纵向轨道，横跨所述多个光刻设备，所述纵向轨道沿纵向延伸且经过所述第二类承载模块的上方，多个所述纵向轨道连接所述横向轨道的两端。
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