合肥恒力装备有限公司王严威获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥恒力装备有限公司申请的专利一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119685796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411732073.X,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置及制备方法是由王严威;江海生;刘译升;高可杰;谢玉慧设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及硅碳负极材料制备装置技术领域,具体是一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置及制备方法。本发明反应腔用于容纳基料,并通过加热装置对基料进行加热,以促进硅烷气体的分解和沉积反应;反应腔内部设计有优化的搅拌机构,以确保基料在反应过程中能够充分混合;同时扬料板的设计能够确保基料在反应过程中被均匀扬起,并与硅烷气体充分接触,从而提高混合均匀性。供气部负责向处于搅拌过程中的反应腔内通入硅烷气体;通过精确控制硅烷气体的流量和通入时间,可以确保硅烷气体在反应腔内均匀分布。回收部还可以对尾气中的有用成分进行回收利用,提高资源利用率。
本发明授权一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种提高CVD制备硅碳负极沉积效率的装置,其特征在于,包括对基料进行加热搅拌的反应腔34、向处于搅拌过程中的反应腔34内通入硅烷气体的供气部6,以及对反应腔34内的尾气进行回收的回收部5,且反应腔34内安装可对基料进行扬起搅拌的扬料板31; 包括底座2及水平回转安装在底座2上的炉管3,炉管3为中间粗两端细的圆柱状,且其过渡段3b为圆台状;炉管3的中段3a及其两段过渡段3b构成所述反应腔34;扬料板31包括安装在炉管3中段3a内壁上的直板311和安装在两段过渡段3b内壁上的螺旋板312;各块沿炉管3周向均匀分布的直板311的长度方向均与炉管3轴线彼此平行,且各块直板311的高度方向均沿其各自位置处的炉管3径向延伸;两段过渡段3b处的各块螺旋板312均呈涡卷状分布,且两端过渡段3b处的螺旋板312涡卷方向彼此相反; 供气部6包括同轴回转动密封配合套接在炉管3进气端的外导气管64,外导气管64伸入到反应腔34内且其伸入端为封口端,且外导气管64仅与炉管3中段3a重合的位置处开设有多个导气孔641,且各个导气孔641沿外导气管64长度方向依次均匀布置;外导气管64内同轴插设有内导气管65,且内导气管65的出气端延伸至炉管3的中间位置,内导气管65的进气端与各个存储气体的气罐61彼此连通,且各个气罐61的出气端均安装有质量流量计62,各种气体的聚合处安装有对气体进行混合以生成混合气体的气体静态混合器63。
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