买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东莞市友辉光电科技有限公司申请的专利掩模组件、掩模机构和掩模装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120704053B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511155130.7，技术领域涉及：G03F1/64；该发明授权掩模组件、掩模机构和掩模装置是由余燕青;杜志航设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩模组件、掩模机构和掩模装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种掩模组件、掩模机构和掩模装置，属于曝光机领域，其中一种掩模组件包括掩模框和掩模版，所述掩模框构造有通孔一，所述掩模版贴设于掩模框构造有通孔一的侧面一，并将通孔一的一端堵住并密封，所述侧面一构造有多个吸气孔一，多个吸气孔一围绕通孔一周向分布；所述侧面一贴设有导向框，所述吸气孔一位于掩模版和导向框之间，所述导向框的厚度不小于掩模版的厚度。本申请的掩模组件通过在掩模框上设置吸气孔，当两个掩模组件将待曝光物料夹住并紧密贴合后，借助吸气孔抽取两个掩模组件之间的空气，使待曝光物料和掩模版真空吸附紧贴在一起，从而提高曝光质量，减小投影误差，同时也不会引起掩膜版本身发生形变。

本发明授权掩模组件、掩模机构和掩模装置在权利要求书中公布了：1.一种掩模机构，其特征在于：包括安装架一、安装框一和掩模组件； 所述掩模组件包括掩模框和掩模版，所述掩模框构造有通孔一，所述掩模版贴设于掩模框构造有通孔一的侧面一，并将通孔一的一端堵住并密封，所述侧面一构造有多个吸气孔一，多个吸气孔一围绕通孔一周向分布； 所述侧面一贴设有导向框，所述吸气孔一位于掩模版和导向框之间，所述导向框的厚度不小于掩模版的厚度，一对掩模组件紧密贴合是通过一对掩模组件的两个导向框相互紧密贴合实现的； 所述掩模框内部构造有与吸气孔一连通的抽气孔，所述抽气孔的一端延伸至掩模框外壁； 所述侧面一构造有与抽气孔连通的回形槽二，所述导向框掩盖住回形槽二，所述导向框和侧面一之间紧密夹设有密封圈一，所述回形槽二位于密封圈一内侧，位于回形槽二内侧的导向框和侧面一之间构造有缝隙，所述缝隙构造为供导向框内侧的气体贯穿后进入回形槽二内； 所述安装架一和安装框一通过连接器相连，所述连接器构造为适于带动安装框一相对安装架一上下和左右滑动； 所述安装框一构造有通孔二，所述安装框一设置有夹具，所述夹具构造为适于将掩模组件夹紧固定在安装框一构造有通孔二的侧面上，并使通孔一和通孔二相对。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市友辉光电科技有限公司，其通讯地址为：523039 广东省东莞市万江街道拔蛟窝创业路1号3栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。