东方日升新能源股份有限公司聂曙光获国家专利权
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龙图腾网获悉东方日升新能源股份有限公司申请的专利一种用于真空镀膜设备的冷凝装置及真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224160672U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521028726.6,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种用于真空镀膜设备的冷凝装置及真空镀膜设备是由聂曙光;王伟;黄虎生设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜设备的冷凝装置及真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种用于真空镀膜设备的冷凝装置及真空镀膜设备。用于真空镀膜设备的冷凝装置包括真空镀膜机本体,真空镀膜机本体内形成可封闭的真空镀膜腔体,真空镀膜腔体内设有隔热板,隔热板将真空镀膜腔体分隔为冷凝区与镀膜区;其中,镀膜区内设有蒸发源、以及用于承载镀膜基材的载具组件,载具组件安装在隔热板面向镀膜区一侧的表面;冷凝区内设有冷却系统。该冷凝装置以隔热板分隔真空镀膜腔体为冷凝区与镀膜区,实现物理隔离。这既能保护冷却系统,又能为钙钛矿低温工艺创造条件,还能保持镀膜基材低温,提高镀膜产品质量和一致性。
本实用新型一种用于真空镀膜设备的冷凝装置及真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种用于真空镀膜设备的冷凝装置,其特征在于:所述冷凝装置包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体内形成可封闭的真空镀膜腔体,所述真空镀膜腔体内设有隔热板,所述隔热板将所述真空镀膜腔体分隔为冷凝区与镀膜区; 其中,所述镀膜区内设有蒸发源、以及用于承载镀膜基材的载具组件,所述载具组件安装在所述隔热板面向所述镀膜区一侧的表面; 所述冷凝区内设有冷却系统。
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