上海市第六人民医院范存义获国家专利权
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龙图腾网获悉上海市第六人民医院申请的专利一种磁控溅射载样支架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160674U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520841844.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射载样支架是由范存义;周超;杨爱;许彬彬;王伟设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射载样支架在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射载样支架，包括，设置于密封腔室内的载物台，以及穿过密封腔室底板与载物台连接的导向轴，密封腔室外设置有驱动导向轴的转动组件和升降组件；转动组件包括位于导向轴正下方的第一电机，第一电机通过第一联轴器与导向轴连接，带动导向轴转动；升降组件驱动第一电机升降，进而带动导向轴升降；还包括波纹管，波纹管套设于导向轴和第一电机的输出轴上；上端密封设置于底板下表面，下端密封设置于第一电机的输出轴，使第一电机的输出轴可在波纹管内与导向轴连接并带动其转动和升降。在实现了载物台旋转和升降功能的基础上，将驱动组件设置在腔体外，缩小了封闭腔室的体积，提升了密封性能和制造成本。
本实用新型一种磁控溅射载样支架在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射载样支架，其特征在于，包括， 设置于密封腔室内的载物台2，以及穿过所述密封腔室的底板1与所述载物台2连接的导向轴3，所述载物台2随所述导向轴3转动和升降； 所述密封腔室外设置有驱动所述导向轴3的转动组件4和升降组件5； 所述转动组件4包括位于所述导向轴3正下方的第一电机41，所述第一电机41驱动所述导向轴3转动； 所述升降组件5设置于所述转动组件4一侧的底板1，驱动所述转动组件4升降，进而带动所述导向轴3升降； 还包括密封组件6，所述密封组件6包括波纹管61，所述波纹管61套设于所述导向轴3和第一电机41的输出轴外周； 所述波纹管61上端密封设置于所述底板1下表面，下端密封设置于所述第一电机41的输出轴，使所述第一电机41的输出轴在波纹管61内与所述导向轴3连接并带动其转动和升降。
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