合肥华晟光伏科技有限公司房腾获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥华晟光伏科技有限公司申请的专利观察窗结构及PVD设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224160683U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521079327.2,技术领域涉及:C23C14/52;该实用新型观察窗结构及PVD设备是由房腾;余义;蒋涛设计研发完成,并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本观察窗结构及PVD设备在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种观察窗结构及PVD设备。观察窗结构包括连接壳体,其内部具有安装空间,连接壳体包括位于安装空间的相对两侧的第一连接侧和第二连接侧,第二连接侧用于与PVD设备的真空腔室密封连接安装;和观察窗本体,其通过安装结构密封安装于连接壳体的所述第一连接侧;及防护组件,包括防护板和与防护板控制连接的防护控制机构,防护板位于连接壳体的安装空间内,且靠近第一连接侧竖向设置,防护控制机构驱动防护板升降以遮挡住观察窗本体或露出观察窗本体。观察窗结构及PVD设备解决了工作人员无法及时发现真空腔室内异常情况,导致批次不良品的产出,以及现有观察窗需要经常更换,导致浪费成本的技术问题。
本实用新型观察窗结构及PVD设备在权利要求书中公布了:1.一种观察窗结构,其特征在于,包括: 连接壳体,其内部具有安装空间,所述连接壳体包括位于所述安装空间的相对两侧的第一连接侧和第二连接侧,所述第二连接侧用于与PVD设备的真空腔室密封连接安装;和 观察窗本体,其通过安装结构密封安装于所述连接壳体的所述第一连接侧;及 防护组件,包括防护板和与所述防护板控制连接的防护控制机构,所述防护板位于所述连接壳体的所述安装空间内,且靠近所述第一连接侧竖向设置,所述防护控制机构驱动所述防护板升降以遮挡住所述观察窗本体或露出所述观察窗本体。
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