湖南联合半导体科技有限公司邓春阳获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南联合半导体科技有限公司申请的专利一种CVD炉进气与尾气通用装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160685U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520959310.X，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种CVD炉进气与尾气通用装置是由邓春阳;王良均设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD炉进气与尾气通用装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种CVD炉进气与尾气通用装置。所述CVD炉进气与尾气通用装置包括分气机构，所述分气机构包括间隔设置的固定板、第一分气板和第二分气板，所述固定板与反应炉的炉壁可拆卸连接，所述固定板与第一分气板之间的间隔形成第一分气腔，所述第一分气板和第二分气板之间的间隔形成第二分气腔；所述固定板上设有与所述第一分气腔连通的气管，所述第一分气板设有同第一分气腔和第二分气腔连通的第一气孔，所述第二分气板上设有同第二分气腔和沉积室连通的第二气孔；所述分气机构有两个，其中一个气管形成进气管，另一个气管形成出气管。本实用新型的分气机构内设置两个分气腔，能够使气体分布更加均匀。
本实用新型一种CVD炉进气与尾气通用装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD炉进气与尾气通用装置，安装于具有沉积室11的反应炉1的炉壁上，其特征在于，包括分气机构2，所述分气机构2包括间隔设置的固定板21、第一分气板22和第二分气板23，所述固定板21与反应炉1的炉壁可拆卸连接，所述固定板21与第一分气板22之间的间隔形成第一分气腔24，所述第一分气板22和第二分气板23之间的间隔形成第二分气腔25； 所述固定板21上设有与所述第一分气腔24连通的气管26，所述第一分气板22设有同第一分气腔24和第二分气腔25连通的第一气孔27，所述第二分气板23上设有同第二分气腔25和沉积室11连通的第二气孔28；所述分气机构2有两个，其中一个气管26形成进气管，另一个气管26形成出气管。
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