佛山大学李健获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山大学申请的专利一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160687U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521081072.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备是由李健;李子豪;王东;肖文甲;杨光光设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备，涉及MOCVD技术领域。该大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备包括：壳体以及旋转轴；壳体中空形成用于MOCVD反应的空腔，壳体的顶端设有多个气体入口，用于MOCVD反应的气体经气体入口进入空腔；空腔包括叠设的第一腔室、第二腔室，第二腔室位于第一腔室靠近气体入口的一侧且与气体入口、第一腔室连通；旋转轴的一端穿过第二腔室并延伸至第一腔室内，旋转轴侧面对应于第一腔室、第二腔室的区域均设有搅拌叶片，本申请实施例能够利用第一腔室和第二腔室内的搅拌叶片实现气体的双次搅拌，提升气体混合效果，促进反应均匀性，从而改善薄膜制备效果和提升良品率。
本实用新型一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸多腔体MOCVD金属化学气相设备，其特征在于，包括：壳体以及旋转轴； 所述壳体中空形成用于MOCVD反应的空腔，所述壳体的顶端设有多个气体入口，所述用于MOCVD反应的气体经所述气体入口进入所述空腔； 所述空腔包括叠设的第一腔室、第二腔室，所述第二腔室位于所述第一腔室靠近所述气体入口的一侧且与所述气体入口、所述第一腔室连通； 所述旋转轴的一端穿过所述第二腔室并延伸至所述第一腔室内，所述旋转轴侧面对应于所述第一腔室、所述第二腔室的区域均设有搅拌叶片。
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