河南芯蕾材料有限公司连涛杰获国家专利权
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龙图腾网获悉河南芯蕾材料有限公司申请的专利自动调平的MPCVD样品台和MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520814784.5，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型自动调平的MPCVD样品台和MPCVD设备是由连涛杰设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动调平的MPCVD样品台和MPCVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动调平的MPCVD样品台和MPCVD设备，涉及化学气相沉积技术领域，自动调平的MPCVD样品台通过样品台承载体的底部设置至少三个支撑脚座进行支撑，通过水平检测单元设置在样品台承载体的不同位置的水平传感器，实时检测样品台承载体的水平状态信息，控制单元与水平检测单元、调平执行单元连接，用于调节支撑脚座的高度，以实现样品台承载体的水平调整，整个过程中实现对样品台承载体进行自动调平，无需人工手动操作，大大提高了调平的效率和精度，能够实时监测并调整因设备震动等因素导致的水平状态变化，保证了在MPCVD工艺过程中样品台始终处于水平状态，从而确保基片与等离子体之间的距离均匀一致。
本实用新型自动调平的MPCVD样品台和MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种自动调平的MPCVD样品台，其特征在于，包括样品台承载体、水平检测单元、控制单元和调平执行单元，所述样品台承载体用于承载基片，所述样品台承载体通过设置在底部的至少三个支撑脚座进行支撑，所述水平检测单元通过设置在所述样品台承载体的不同位置的水平传感器，实时检测所述样品台承载体的水平状态信息，所述控制单元与所述水平检测单元、所述调平执行单元连接，用于调节所述支撑脚座的高度，以实现所述样品台承载体的水平调整。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河南芯蕾材料有限公司，其通讯地址为：451100 河南省郑州市航空港经济综合实验区工业十路与华夏大道交叉口向西300米B栋301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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