江苏微导纳米科技股份有限公司宋广华获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520998898.X，技术领域涉及：C23C16/509；该实用新型沉积系统是由宋广华;李海生;杨世蒙设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积系统在说明书摘要公布了：本申请公开了沉积系统。沉积系统包括设备主体、电极组件、气电馈入件和射频模组。设备主体具有工艺腔体。电极组件设置于工艺腔体内。气电馈入件设置于设备主体的其中一侧，气电馈入件包括第一管路和多个第二管路，第一管路和第二管路穿设设备主体的其中一侧壁与电极组件气导通且电导通，第二管路均匀围绕第一管路设置，第二管路与第一管路间隔设置，不同第二管路与第一管路之间的距离相同，第一管路和第二管路连通设置。射频模组与第一管路电导通，第一管路与第二管路之间通过线缆导通。通过上述方式，本申请能够提高沉积系统镀膜的均匀性。
本实用新型沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种沉积系统，其特征在于，包括： 设备主体，所述设备主体具有工艺腔体； 电极组件，所述电极组件设置于所述工艺腔体内； 气电馈入件，设置于所述设备主体的其中一侧，所述气电馈入件包括第一管路和多个第二管路，所述第一管路和所述第二管路均穿设所述设备主体的其中一侧壁与所述电极组件气导通且电导通，所述第二管路均匀围绕所述第一管路设置，所述第二管路与所述第一管路间隔设置，不同所述第二管路与所述第一管路之间的距离相同，所述第一管路和所述第二管路连通设置； 射频模组，所述射频模组与所述第一管路电导通，所述第一管路与所述第二管路之间通过线缆导通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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