成都极星等离子科技有限公司陈刚获国家专利权
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龙图腾网获悉成都极星等离子科技有限公司申请的专利一种利用微波沉积等离子源的辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160691U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521055042.5，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种利用微波沉积等离子源的辅助装置是由陈刚;王鸣;顾臻设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用微波沉积等离子源的辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于等离子沉积技术领域，公开了一种利用微波沉积等离子源的辅助装置，包括真空炉体和辅助等离子源，所述真空炉体的内腔呈圆柱形，真空炉体内安装有放置工件的转架，辅助等离子源与真空炉体连接，所述辅助等离子源包括波导管，波导管的能量从左侧注入，波导管右侧连接反射匹配网络，波导管上方设有隔离常压波导和真空腔体的石英玻璃，波导管内侧与石英玻璃窗口的位置上设置有调节微波波导尺寸的扰动器。本实用新型通过设置辅助等离子源，并设置扰动器，能够增加波导能量向真空腔体的散射比例和散射方向，配合真空炉体内的转架，能够保证整体涂层的均匀性。
本实用新型一种利用微波沉积等离子源的辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种利用微波沉积等离子源的辅助装置，其特征在于：包括真空炉体1和辅助等离子源3，所述真空炉体1的内腔呈圆柱形，真空炉体1内安装有放置工件的转架2，辅助等离子源3与真空炉体1连接，所述辅助等离子源3包括波导管4，波导管4的能量从左侧注入，波导管4右侧连接反射匹配网络，波导管4上方设有隔离常压波导和真空腔体的石英玻璃5，波导管4内侧与石英玻璃5窗口的位置上设置有调节微波波导尺寸的扰动器6。
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