上海微世半导体有限公司丁波获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微世半导体有限公司申请的专利一种晶圆片输送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160693U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520929889.5，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种晶圆片输送装置是由丁波;陈瀚;杭海燕;谷卫东;魏方超;张伟;智朋;康夏雷设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片输送装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆片输送装置，包括多个输送臂，所述多个输送臂上下间隔布置，且分别对应不同的化学气相沉积炉，所述输送臂包括：用于水平伸入或者退出化学气相沉积炉的臂体，所述臂体水平布置于对应化学气相沉积炉炉口的轴向后侧，该臂体的前部的上侧形成用于支撑晶圆载运舟的支撑面，该支撑面的形状与所述晶圆载运舟的底面形状适配；用于驱动所述臂体水平伸入或者退出化学气相沉积炉的驱动机构，所述驱动机构与所述臂体连接。本实用新型设计有多个输送臂分别对应不同的化学气相沉积炉，且由驱动机构驱动输送臂的伸入和退出，支持多批次晶圆载运舟的连续输送，大幅缩短单次工艺周期，提升产线效率，不需要人工推送，大大节省了人力成本。
本实用新型一种晶圆片输送装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片输送装置，其特征在于，包括多个输送臂，所述多个输送臂上下间隔布置，且分别对应不同的化学气相沉积炉，所述输送臂包括： 用于水平伸入或者退出化学气相沉积炉的臂体，所述臂体水平布置于对应化学气相沉积炉炉口的轴向后侧，该臂体的前部的上侧形成用于支撑晶圆载运舟的支撑面，该支撑面的形状与所述晶圆载运舟的底面形状适配； 用于驱动所述臂体水平伸入或者退出化学气相沉积炉的驱动机构，所述驱动机构与所述臂体连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微世半导体有限公司，其通讯地址为：201401 上海市闵行区东川路555号丙楼6212室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励