苏州承峻半导体设备有限公司董建树获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州承峻半导体设备有限公司申请的专利一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224160740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521070079.5,技术领域涉及:C30B15/30;该实用新型一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构是由董建树;成诗恕;胡玉琪;程维祥设计研发完成,并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构,涉及晶体生长设备技术领域,包括主支架,其特征在于:所述主支架的上方设置有两组龙门架侧架,两组所述龙门架侧架之间焊接有龙门架横架,所述龙门架横架的顶端设置有可以稳定提拉旋转籽晶轴的提拉旋转组件。该基于龙门架结构的晶体生长提拉机构通过设置有安装板、丝杆动力头、法兰式磁流体空心轴组件、水循环旋转接头和柱状称重传感器,使用时,第一滚珠丝杆旋转,升降平台板即上下位移,空心轴带动下方的刚性籽晶轴同步匀速转动,三组均匀分布的柱状称重传感器上,方便监测结晶的重量,实现了稳定提升旋转的功能,解决的是装置不具备稳定提升旋转的功能的问题。
本实用新型一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构在权利要求书中公布了:1.一种基于龙门架结构的晶体生长提拉机构,包括主支架1,其特征在于:所述主支架1的上方设置有两组龙门架侧架2,两组所述龙门架侧架2之间焊接有龙门架横架3,所述龙门架横架3的下方设置有小炉盖主体26,所述龙门架横架3顶部的右侧安装有伺服电机27,所述伺服电机27的左侧设置有第二换向器33,所述龙门架横架3底部的右侧固定连接有第三导轨安装立柱28,所述第三导轨安装立柱28的左侧固定连接有第二滑轨29,所述第三导轨安装立柱28的底端固定连接有第二丝杆支撑轴承支架30,所述第二丝杆支撑轴承支架30、第二换向器33之间活动连接有第二滚珠丝杆31,所述第二滚珠丝杆31的外部套接有第二滑块32,所述小炉盖主体26、第二滑块32之间固定连接有提拉架34,所述主支架1顶部的两侧分别固定连接有第三滑轨35,所述龙门架侧架2的底端固定连接有第三滑块36,所述第三滑轨35的前端固定连接有前限位挡块37,所述第三滑轨35的后端固定连接有后限位挡块38,所述后限位挡块38的前端胶接有缓冲胶垫39,所述第三滑块36后端的顶部固定连接有锁紧螺杆40,所述锁紧螺杆40的外部套接有第一锁紧螺母41、第二锁紧螺母42,所述第三滑块36后端的底部固定连接有预限位撞柱43,所述龙门架横架3的顶端设置有可以稳定提拉旋转籽晶轴的提拉旋转组件; 所述提拉旋转组件包括安装板4,所述安装板4固定连接在龙门架横架3的中间位置处,所述安装板4的左右两边分别设置有第一导轨安装立柱6、第二导轨安装立柱11,所述第一导轨安装立柱6、第二导轨安装立柱11的内侧面分别固定连接有第一滑轨7,所述第一导轨安装立柱6、第二导轨安装立柱11的顶端分别固定连接有第一丝杆支撑轴承支架8,所述安装板4顶部的两侧分别安装有丝杆动力头5,所述丝杆动力头5、第一丝杆支撑轴承支架8之间活动连接有第一滚珠丝杆9,所述第二导轨安装立柱11前端的顶部固定连接有上限位器10,所述第二导轨安装立柱11前端的底部固定连接有下限位器12,所述安装板4顶部的左侧安装有第一驱动电机13,所述安装板4顶部的前端安装有两组第一换向器15,所述第一驱动电机13、第一换向器15之间设置有第一弹性联轴器14,两组所述第一换向器15之间设置有第二弹性联轴器16,所述安装板4的内部竖向设置有刚性籽晶轴17,所述安装板4的上方设置有升降平台板18,所述升降平台板18的左右两侧分别固定连接有第一滑块19,所述升降平台板18前端的左侧固定连接有限位器撞块20,所述升降平台板18的上方设置有法兰式磁流体空心轴组件23,所述升降平台板18的前端安装有第二驱动电机21,所述第二驱动电机21、法兰式磁流体空心轴组件23之间设置有皮带22,所述法兰式磁流体空心轴组件23的顶端螺纹连接有水循环旋转接头24,所述升降平台板18的顶端安装有三组柱状称重传感器25。
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