粒芯科技(厦门)股份有限公司张伟获国家专利权
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龙图腾网获悉粒芯科技(厦门)股份有限公司申请的专利一种分子束外延用衬底托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224160742U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520900616.8，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种分子束外延用衬底托盘是由张伟;张权;段海龙;王望南;蔡晓玲设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分子束外延用衬底托盘在说明书摘要公布了：本申请公开了一种分子束外延用衬底托盘，属于半导体设备领域，用于解决如何适用不同尺寸的外延片，并降低制作成本的问题。分子束外延用衬底托盘包括：外托盘和内托盘；外托盘设有第一通孔，第一通孔横截面为圆形，且内侧设有第一台阶及阻挡热辐射圆环的第一圆环台阶；内托盘的外侧设有两个分别与第一台阶及第一圆环台阶适配的外台阶，内托盘第二通孔，第二通孔在垂直于长度方向的横截面为圆形，且内侧设有第二台阶，第二通孔的直径小于第一通孔的直径；在内托盘与外托盘分离时，第一通孔用于容置第一外延片，第一台阶用于支撑第一外延片；在内托盘嵌设于外托盘的第一通孔时，外台阶支撑于第一圆环台阶及第一台阶，第二通孔用于容置第二外延片，第二台阶用于支撑第二外延片。
本实用新型一种分子束外延用衬底托盘在权利要求书中公布了：1.一种分子束外延用衬底托盘，其特征在于，包括：外托盘和内托盘； 所述外托盘设有第一通孔，所述第一通孔在垂直于长度方向的横截面为圆形，且内侧设有第一台阶及阻挡热辐射圆环的第一圆环台阶； 所述内托盘的外侧设有两个分别与所述第一台阶及第一圆环台阶适配的外台阶，所述内托盘第二通孔，所述第二通孔在垂直于长度方向的横截面为圆形，且内侧设有第二台阶，所述第二通孔的直径小于所述第一通孔的直径； 其中，在所述内托盘与外托盘分离时，所述第一通孔用于容置第一外延片，所述第一台阶用于支撑第一外延片；在所述内托盘可拆卸地嵌设于所述外托盘的第一通孔内侧时，所述外台阶支撑于所述第一圆环台阶及第一台阶，所述第二通孔用于容置第二外延片，所述第二台阶用于支撑第二外延片。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人粒芯科技(厦门)股份有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区翔星路100号恒业楼208-84室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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