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中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司李向阳获国家专利权

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龙图腾网获悉中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利退火装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224160744U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521120135.1,技术领域涉及:C30B33/02;该实用新型退火装置是由李向阳;冯厚坤;陈翼设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

退火装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种退火装置,退火装置包括:炉体、第一开关阀、加热结构、冷却结构和驱动结构,炉体从上至下依次限定出存放腔、退火腔和取出腔,取出腔通过第一连通口与退火腔连通,存放腔通过第二连通口与退火腔连通,取出腔具有可开关的取出口,以供工件取出,存放腔具有可开关的存入口,以供多个待退火的工件存入,加热结构设于炉体且位于退火腔内,冷却结构设于炉体且对应于退火腔设置,驱动结构可在存放腔、退火腔和取出腔之间运动,以用于将存放腔内的工件带动至退火腔内,且用于将退火腔内的工件依次带动至取出腔内。由此,便于实现存放腔内多个工件的依次退火,以便提高退火装置的工作效率。

本实用新型退火装置在权利要求书中公布了:1.一种退火装置,其特征在于,包括: 炉体,所述炉体从上至下依次限定出取出腔、退火腔和存放腔,所述取出腔通过第一连通口与所述退火腔连通,所述存放腔通过第二连通口与所述退火腔连通,所述取出腔具有可开关的取出口,以供退火后的工件取出,所述存放腔具有可开关的存入口,以供多个待退火的工件存入; 第一开关阀,所述第一开关阀设于所述第一连通口处,且用于控制所述取出腔和所述退火腔之间的通断; 加热结构,所述加热结构设于所述炉体且位于所述退火腔内; 冷却结构,所述冷却结构设于所述炉体且对应于所述退火腔设置,且间隔设在所述加热结构的靠近所述第一连通口的一侧; 驱动结构,所述驱动结构设于所述炉体,且可在所述存放腔、所述退火腔和所述取出腔之间运动,以用于将所述存放腔内的工件带动至所述退火腔内,且用于将所述退火腔内的工件依次带动至所述取出腔内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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