苏州承峻半导体设备有限公司董建树获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州承峻半导体设备有限公司申请的专利一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224160745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521066257.7,技术领域涉及:C30B35/00;该实用新型一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置是由董建树;成诗恕;胡玉琪;程维祥设计研发完成,并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶体生长设备领域,公开了一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置,包括炉膛和炉盖,所述炉膛右侧的顶端安装有固定架,所述固定架的顶端安装有静子,所述静子的顶端活动连接有转子,所述转子的顶端安装有悬臂,所述悬臂顶端的右侧安装有旋转伺服电机及减速器,所述悬臂顶端的左侧安装有电机支架,所述电机支架上安装有升降伺服电机及减速器。该晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置通过升降伺服电机及减速器带动炉盖上移到下位置限位开关位置后停止并自锁,随后旋转伺服电机及减速器驱动悬臂旋转使得炉盖从炉膛顶部移开即可实现开盖,采用伺服电机和减速器配合驱动,实现精准高度控制和角度控制,解决了开盖效率低且存在安全隐患问题。
本实用新型一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置在权利要求书中公布了:1.一种晶体炉上盖的小体积自动化开闭装置,包括炉膛1和炉盖2,其特征在于:所述炉膛1右侧的顶端安装有固定架13,所述固定架13的顶端安装有静子11,所述静子11的顶端活动连接有转子9,所述转子9的顶端安装有悬臂6,所述悬臂6顶端的右侧安装有旋转伺服电机及减速器7,所述悬臂6顶端的左侧安装有电机支架3,所述电机支架3上安装有升降伺服电机及减速器4,所述升降伺服电机及减速器4的输出端与炉盖2的顶端连接,所述炉盖2的顶端安装有下位置限位开关12,所述悬臂6的顶端安装有上位置限位开关5。
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