山东聚智半导体科技有限公司赵迎春获国家专利权
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龙图腾网获悉山东聚智半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165104U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520678890.5，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆承载装置是由赵迎春;闫学军;张胜;单志辉设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型专利涉及承载装置技术领域，具体涉及一种晶圆承载装置，所述隔离机构至少设有三个，均设于承载部上表面外圈，所述隔离机构包括手柄、隔离片和调节部，所述隔离片转动时，对上下两片晶圆起隔离作用，使上下两片晶圆间距0.3mm，所述调节部用于调节承载盘和隔离片之间的距离；当增加所述调节部的高度时，承载盘和隔离片之间的距离增大，当减少所述调节部的高度时，承载盘和隔离片之间的距离减小；隔离片在转动的过程中，从不同方向支撑晶圆，使其位于承载盘中央，防止晶圆偏移，保证两片晶圆的同心度；固定圈与承载盘一体化加工，减少加工过程中两者的形变，同时减小装配过程中固定圈与承载盘的同轴度、平面度及平行度。
本实用新型一种晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括： 承载部，所述承载部用于承托晶圆，并对底层晶圆进行初步固定； 隔离机构4，所述隔离机构4至少设有三个，均设于承载部上表面外圈，所述隔离机构4包括手柄42、隔离片43和调节部，所述手柄42用于带动隔离片43转动，所述隔离片43转动时从不同方向转动隔离两片晶圆，使其位于承载部中央，所述调节部用于调节承载盘2和隔离片43之间的间距，当增加所述调节部的高度时，承载盘2和隔离片43之间的间距增大，当减少所述调节部的高度时，承载盘2和隔离片43之间的间距减小； 压紧机构5，所述压紧机构5至少设有两个，均设于承载部上表面外圈，所述压紧机构5用于压紧承载部上的两片晶圆。
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