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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利膜厚测定系统、膜厚测定方法以及程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113405477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110251055.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权膜厚测定系统、膜厚测定方法以及程序产品是由梅原康敏设计研发完成，并于2021-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本膜厚测定系统、膜厚测定方法以及程序产品在说明书摘要公布了：一种膜厚测定系统,其取得与形成有膜厚不同的第一膜的N个第一基板的表面的第一位置相关的分光数据,对N个第一基板的每一个取得第一位置的第一膜的膜厚,用摄像部对形成有膜厚不同的第二膜的N个第二基板的表面进行摄像而取得第一图像数据,对N个第二基板的每一个取得第一区域内的多个第一子区域中的第一颜色信息,取得第一区域内的第二膜的膜厚与该第一区域内的多个第一子区域的每一个的第一颜色信息的相关关系,使用摄像部对形成有第三膜的第三基板的表面进行摄像而取得第二图像数据,对多个第二子区域的每一个第二子区域取得第二颜色信息,由多个第二子区域的每一个的第二颜色信息和相关关系推定与第一区域对应的第二区域内的第三膜的膜厚。

本发明授权膜厚测定系统、膜厚测定方法以及程序产品在权利要求书中公布了：1.一种膜厚测定系统，具有： 保持部，其构成为用于保持基板； 摄像部，其构成为用于对被上述保持部保持的上述基板的表面进行摄像并取得图像数据；以及 控制部，其构成为用于控制上述摄像部， 上述控制部具有： 分光数据取得部，其构成为取得在形成有膜厚不同的第一膜的N个第一基板的表面的第一位置处反射的光的分光数据，上述N是2以上的整数； 第一膜厚取得部，其构成为针对上述N个第一基板的每一个，基于上述分光数据来计算上述第一位置处的上述第一膜的膜厚； 第一图像数据取得部，其构成为使用上述摄像部，取得被上述保持部保持且形成有第二膜的N个第二基板的表面的第一图像数据，所述第二膜具有与所述第一膜实质相同的膜厚； 第一颜色信息取得部，其构成为针对上述N个第二基板的每一个，使用上述第一图像数据，来取得第一区域内的多个第一子区域的第一颜色信息，上述第一区域包括与上述第一位置对应的第二位置； 相关关系取得部，其构成为使用所计算出的上述第一位置处的每个上述第一膜的膜厚以作为上述第一区域内的每个上述第二膜的膜厚，并且使用上述N个第二基板的上述第一颜色信息，来针对上述多个第一子区域的每一个，计算膜厚与颜色信息的相关关系； 第二图像数据取得部，其构成为使用上述摄像部，取得被上述保持部保持且形成有第三膜的第三基板的表面的第二图像数据； 第二颜色信息取得部，其构成为使用上述第二图像数据，来取得上述第三基板上的第二区域内的多个第二子区域的第二颜色信息，上述第二区域与上述第一区域对应，上述多个第二子区域与上述多个第一子区域对应；以及 推定部，其构成为基于所计算出的上述相关关系、以及上述多个第二子区域的上述第二颜色信息，对上述第二区域内的上述第三膜的膜厚进行推定。

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