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龙图腾网获悉西北工业大学宁波研究院申请的专利一种加速度敏感测量装置及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114859075B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210421743.0，技术领域涉及：G01P15/00；该发明授权一种加速度敏感测量装置及其制造方法是由卢乾波;吴霜;朱启轩;周旭瑒;王振山;王小旭;王学文;黄维设计研发完成，并于2022-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加速度敏感测量装置及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置及其制造方法的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度，保证很高的流片率和加工精度。

本发明授权一种加速度敏感测量装置及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种加速度敏感测量装置，所述加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，其特征在于，所述加速度敏感测量装置包括敏感质量块1和框架4，所述敏感质量块1上连接有若干个用于支撑敏感质量块1的悬臂梁2，所述悬臂梁2一端与敏感质量块1连接，所述悬臂梁2另一端连接有用于挤压悬臂梁2的加载机构3，所述加载机构3连接在所述框架4上，所述框架4内设有通槽41，所述敏感质量块1可活动地设置在所述通槽41内，所述框架4与敏感质量块1之间设有用于放大敏感质量块1位移量的放大器5，所述框架4固定安装在具有凹槽61的衬底6上； 所述悬臂梁2和加载机构3的数量均为四个，所述敏感质量块1的前后两侧的中部分别设有一连接凸起11，每个所述连接凸起11的左右两侧分别连接一所述悬臂梁2的一端，所述悬臂梁2的另一端对应连接一所述加载机构3，以使得四个所述加载机构3间隔分布于所述敏感质量块1的四个角，连接在每个连接凸起11上的两个悬臂梁2左右对称设置； 所述敏感质量块1、悬臂梁2、放大器5、加载机构3和框架4的厚度相同，中心水平面重合，所述的加速度敏感测量装置的加速度敏感方向与敏感质量块1的长度方向平行，使敏感质量块1重心位于悬臂梁2的中心平面上； 所述加载机构3包括用于限定悬臂梁2左右位置的卡齿结构31和用于推动卡齿结构31的制动器32，所述卡齿结构31一侧与悬臂梁2连接其另一侧与制动器32连接，所述制动器32一侧与卡齿结构31连接其另一侧与框架4连接； 所述卡齿结构31包括连接块311，所述连接块311连接在悬臂梁2与制动器32之间，所述连接块311的前后两侧分别延伸设有卡齿312，所述框架4上设有若干个供所述卡齿312配合卡入的齿槽42； 所述制动器32包括两个第一梁321和第二梁322，所述第一梁321呈弧形结构，所述第二梁322呈多弯折结构，所述第一梁321一端与连接块311连接其另一端与第二梁322一端连接，所述第二梁322另一端与框架4连接，两个所述第一梁321和第二梁322沿连接块311的对称轴成前后对称关系分布。

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