无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利加热组件及半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117431531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311379583.9，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权加热组件及半导体处理设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热组件及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种加热组件及半导体处理设备。所述半导体处理设备包括反应腔，所述反应腔内设有基座，所述基座用于承载晶圆，所述加热组件包括：主线圈，用于对所述基座进行加热，包括以同心圆环状排布的多匝线圈；多个过渡段，每一过渡段连接相邻匝线圈，所述过渡段相对于所述主线圈远离所述基座设置。本发明用于改善基座在周向上的温度均匀性，提高晶圆表面温度的一致性，提高晶圆加工的良品率。
本发明授权加热组件及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种加热组件，用于半导体处理设备，所述半导体处理设备包括反应腔，所述反应腔内设有基座，所述基座用于承载晶圆，其特征在于，所述加热组件包括： 主线圈，用于对所述基座进行加热，包括以同心圆环状排布的多匝线圈； 多个过渡段，每一过渡段连接相邻匝线圈，所述过渡段相对于所述主线圈远离所述基座设置，所述主线圈及所述过渡段均位于所述反应腔内； 所述多匝线圈沿径向的同一位置设有相对的第一端和第二端，每一过渡段连接相邻匝线圈中位于内圈的线圈的第一端和位于外圈的线圈的第二端；所述过渡段通过第一连接段连接位于内圈的线圈的第一端、通过第二连接段连接位于外圈的线圈的第二端，所述第一连接段和所述第二连接段延伸方向垂直于所述基座；所述主线圈与所述过渡段均为中空管道，且所述过渡段流通截面不小于所述主线圈的流通截面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡先为科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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