深圳大学李甫获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利一种Bi2SeS2薄膜及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117646178B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311459842.9,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种Bi2SeS2薄膜及其制备方法与应用是由李甫;赵健;许鸣媛设计研发完成,并于2023-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Bi2SeS2薄膜及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种Bi2SeS2薄膜及其制备方法与应用。本发明在惰性气体保护下,将单质Bi粉、单质Se粉和单质S粉混合球磨,得到Bi2SeS2化合物粉末,该粉末经放电等离子烧结处理,得到Bi2SeS2化合物靶材;采用磁控溅射技术将该靶材制备得到Bi2SeS2薄膜。本发明的Bi2SeS2化合物粉末烧结快速、温度低、能耗低,Bi2SeS2化合物靶材成分便于控制,易于后期薄膜成分的调控。同时,Bi2SeS2化合物粉末、Bi2SeS2化合物靶材制备时间短、磁控溅射效率高,因此可有效控制Bi2SeS2薄膜制备过程中S、Se易挥发元素的挥发,降低成分偏析。本发明工艺简单、成本低且重复性好。
本发明授权一种Bi2SeS2薄膜及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种Bi2SeS2薄膜的制备方法,其特征在于,包括步骤: 在室温、惰性气体保护下,将单质Bi粉、单质Se粉和单质S粉混合,进行球磨处理,得到Bi2SeS2化合物粉末; 将所述Bi2SeS2化合物粉末进行放电等离子烧结处理,得到Bi2SeS2化合物靶材; 采用磁控溅射技术,将所述Bi2SeS2化合物靶材溅射沉积于基片上,在所述基片上制备得到所述Bi2SeS2薄膜; 其中,所述放电等离子烧结处理的烧结温度为450-650℃,烧结保温时间为30-55min。
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