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龙图腾网获悉福建华清电子材料科技有限公司申请的专利一种静电卡盘的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118324537B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410340842.5，技术领域涉及：C04B35/581；该发明授权一种静电卡盘的制作方法是由杨大胜;施纯锡;冯家伟设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电卡盘的制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种静电卡盘的制作方法，包括以下步骤：步骤一、制备氮化铝流延浆料；制备静电卡盘生瓷坯，静电卡盘生瓷坯上设有安装槽；步骤二、在安装槽底部铺设静电电极板和第一铜线，再注入浸没静电电极板的氮化铝流延浆料，干燥固化后形成第一氮化铝隔板；步骤三、第一氮化铝隔板上设置第一金属板；步骤四、制备第一基体材料和第二基体材料；步骤五、将第一基体材料和第二基体材料设在第一金属板上；步骤六、第一基体材料上端部设置第二金属板和第二铜线；第二基体材料上端部设置第三金属板和第三铜线；步骤七、向安装槽内注入氮化铝流延浆料；步骤八、待氮化铝流延浆料干燥固化后，送入窑炉烧制；步骤九、烧制完成后冷却制得静电卡盘。

本发明授权一种静电卡盘的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘的制作方法，其特征在于，包括以下步骤； 步骤一、制备氮化铝流延浆料； 取部分氮化铝流延浆料注入模具内，干燥固化成型后形成静电卡盘生瓷坯，所述静电卡盘生瓷坯呈圆柱形，并且在所述静电卡盘生瓷坯的上底面设置有安装槽； 剩余氮化铝流延浆料备用； 步骤二、制备第一基体材料，将单质硅材料加热至熔融后均匀惨杂5价元素，冷却形成柱状的第一基体材料，第一基体材料中电子数量多于空穴数量；所述第一基体材料的两端均涂有石墨涂料，备用； 制备第二基体材料，将单质硅材料加热至熔融后均匀惨杂3价元素，冷却形成柱状的第二基体材料，第二基体材料中电子数量少于空穴数量；所述第二基体材料的两端均涂有石墨涂料，备用； 步骤三、在安装槽的底部铺设静电电极板和连接静电电极板的第一铜线，然后再向所述安装槽内注入氮化铝流延浆料，使所述氮化铝流延浆料浸没静电电极板，将本步骤注入的氮化铝流延浆料干燥固化后形成第一氮化铝隔板； 步骤四、在所述第一氮化铝隔板上继续注入氮化铝流延浆料，然后在本步骤注入的氮化铝流延浆料上设置第一金属板，第一金属板上表面露出氮化铝流延浆料表面，所述静电电极板和第一铜线不与第一金属板相接触，采用万用表检测第一铜线和第一金属板之间绝缘，则进入步骤五； 步骤五、在步骤三中注入的氮化铝流延浆料干燥固化后；将所述第一基体材料下端部设置在第一金属板上，通过第一基体材料下端部的石墨涂料与第一金属板充分接触；将所述第二基体材料下端部设置在第一金属板上，通过第二基体材料下端部的石墨涂料与第一金属板充分接触； 所述第一基体材料和第二基体材料不相接触； 步骤六、在所述第一基体材料上端部的石墨涂料上设置第二金属板，第二金属板上连接有第二铜线；在所述第二基体材料上端部的石墨涂料上设置第三金属板，第三金属板上连接有第三铜线； 所述第二金属板和第三金属板不相接触； 步骤七、向所述安装槽内再注入氮化铝流延浆料，使得氮化铝流延浆料没过第二金属板和第三金属板； 所述第一铜线、第二铜线和第三铜线均穿出氮化铝流延浆料；采用万用表检测第一铜线和第二铜线之间绝缘，并且第一铜线和第三铜线之间绝缘，则进入步骤八； 步骤八、待氮化铝流延浆料干燥固化后，将静电卡盘生瓷坯从模具取出，送入窑炉烧制； 步骤九、烧制完成后，自然冷却至当前环境温度制得静电卡盘； 对静电卡盘的第一铜线、第二铜线和第三铜线进行绝缘封装。

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