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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119556014B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411779605.5，技术领域涉及：G01R29/12；该发明授权压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器是由彭春荣;刘文杰;毋正伟设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器在说明书摘要公布了：本公开提供了一种压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器，应用于电场传感器技术领域。该压电自反馈激励式微型电场传感器包括：衬底，用于支撑拾振参考结构、压电驱动结构、互屏蔽电场感应结构和弹性梁；压电驱动结构，用于在对压电驱动结构施加驱动电压的情况下，压电驱动结构发生形变，以使弹性梁产生振动；互屏蔽电场感应结构，用于响应于弹性梁振动，互屏蔽电场感应结构输出差分形式的感应电流信号，以便于抑制共模噪声并检测待测电场的幅值强度；拾振参考结构，用于响应于弹性梁振动，拾振参考结构输出参考电流信号，以便于调整驱动电压的大小，使压电自反馈激励式微型电场传感器的输出灵敏度为预定值。

本发明授权压电自反馈激励式微型电场传感器、电场检测方法及传感器在权利要求书中公布了：1.一种压电自反馈激励式微型电场传感器，包括： 衬底，用于支撑拾振参考结构、压电驱动结构、互屏蔽电场感应结构和弹性梁； 压电驱动结构，通过所述弹性梁固定在所述衬底上的所述拾振参考结构的两侧，所述压电驱动结构包括驱动电极层和压电层，所述驱动电极层包括第一子驱动电极层和第二子驱动电极层，所述第二子驱动电极层通过绝缘层固定在所述弹性梁上；所述压电层设置在所述第一子驱动电极层和所述第二子驱动电极层之间，所述压电驱动结构用于基于压电驱动的方式，对所述第一子驱动电极层和所述第二子驱动电极层施加驱动电压，驱动所述压电层中的压电材料发生形变，以使所述弹性梁产生垂直于衬底的方向的振动，带动由所述互屏蔽电场感应结构中的电场感应可动电极和所述拾振参考结构中的可动参考电极通过所述弹性梁或电容耦合中的至少一种方式构成的谐振器振动，降低驱动电压和功耗，增大驱动能力，所述压电层通过溅射法或溶胶-凝胶法沉积得到； 互屏蔽电场感应结构，设置在所述衬底的上方，用于响应于所述弹性梁在垂直方向的振动，基于电荷感应原理，所述互屏蔽电场感应结构输出差分形式的周期性的感应电流信号，以便于抑制共模噪声并在恒定的输出灵敏度下根据所述感应电流信号检测待测电场的幅值强度； 拾振参考结构，设置在所述互屏蔽电场感应结构的两侧并固定在所述衬底的上方，拾振固定电极的一端与所述衬底相连接，并接受由所述衬底提供的支撑力，以使所述拾振固定电极除与所述衬底连接的一端以外的结构悬空，所述拾振参考结构包括至少两个可动参考电极和至少两个拾振固定电极，可动参考电极通过所述弹性梁支撑悬空于所述衬底上，用于响应于所述弹性梁振动，产生相对于所述衬底的垂直方向的振动，以在垂直于衬底的方向上使所述可动参考电极的三个侧面相对于所述拾振固定电极产生离面面积变化，改变所述可动参考电极与所述拾振固定电极之间的电容；拾振固定电极固定在所述衬底的上方，与所述可动参考电极相对设置，用于在所述可动参考电极振动的情况下，提供与所述可动参考电极的位置相对应的参考位置，根据电容变化量，将所述谐振器的机械振动信号转化并输出参考电流信号，以便于根据所述参考电流信号的大小与谐振频率和谐振幅值的乘积呈正比的预定关系调整所述驱动电压的大小，使传感器的输出灵敏度保持为预定值； 其中，所述拾振固定电极和所述互屏蔽电场感应结构中的电场感应固定电极均将所述可动参考电极和所述互屏蔽电场感应结构中的电场感应可动电极的梳齿结构的侧面包围，所述拾振固定电极与所述电场感应固定电极和所述压电驱动结构之间相邻设置且无所述可动参考电极或所述电场感应可动电极。

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