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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十一研究所申请的专利一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601458B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411624910.7，技术领域涉及：H10P90/00；该发明授权一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法是由王琰璋;李振兴;侯晓敏;刘江高;李轩;岳晓辉设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法，包括：获取切割完成的碲锌镉晶片，对碲锌镉晶片第一面进行抛光处理，直至去除第一面表面的切割起伏，得到第一晶片；对碲锌镉晶片第二面进行减薄处理，再对碲锌镉晶片第二面进行机械抛光，得到第二晶片；将第二晶片从减薄载片上取下，进行X射线衍射样貌测试，得到第二晶片对应的X射线衍射形貌图，选取X射线衍射形貌图上衬度均匀的区域，并在第二晶片对应位置进行标记；根据第二晶片对应位置的标记，将第二晶片划切为规则形状的碲锌镉衬底；将碲锌镉衬底置于抛光载片上进行衬底抛光处理，对抛光完成后的碲锌镉衬底进行涂胶保护，从抛光载片上取下后，对碲锌镉衬底进行清洗，得到加工完成的碲锌镉衬底。

本发明授权一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸碲锌镉衬底表面加工方法，其特征在于，包括： 获取切割完成的碲锌镉晶片，以第一面向上，将所述碲锌镉晶片置于抛光载片上，对所述第一面进行抛光处理，直至去除所述第一面表面的切割起伏，得到第一晶片； 以第二面向上，将所述第一晶片从抛光载片上取下，置于减薄载片上，对所述第二面进行减薄处理，再对碲锌镉晶片第二面进行机械抛光，得到第二晶片，其中，所述第二晶片的厚度满足预设厚度条件，所述第二晶片的平面度满足预设平面度； 将所述第二晶片从减薄载片上取下，进行X射线衍射样貌测试，得第二晶片对应的X射线衍射形貌图，选取所述X射线衍射形貌图上衬度均匀的区域，并在所述第二晶片对应位置进行标记； 根据所述第二晶片对应位置的所述标记，将所述第二晶片划切为规则形状的碲锌镉衬底； 将所述碲锌镉衬底置于抛光载片上进行衬底抛光处理，对抛光完成后的所述碲锌镉衬底进行涂胶保护，从抛光载片上取下后，对所述碲锌镉衬底进行清洗，得到加工完成的碲锌镉衬底； 所述将所述碲锌镉晶片置于抛光载片上，对所述第一面进行抛光处理，直至去除所述第一面表面的切割起伏，得到第一晶片，包括： 将所述碲锌镉晶片使用粘片蜡贴在抛光载片上，使用第一抛光液对所述第一面进行抛光处理，直至去除所述第一面表面的切割起伏，得到第一晶片，其中，所述第一抛光液为粒径范围在第一粒径阈值范围内的金刚石抛光液； 所述对所述第二面进行减薄处理，再对碲锌镉晶片第二面进行机械抛光，得到第二晶片，包括： 使用砂轮减薄机对所述第二面进行减薄处理，再使用第一抛光液对碲锌镉晶片第二面进行机械抛光，得到第二晶片，以高于最终衬底的目标厚度30～70μm为减薄后的目标厚度，其中，所述第一抛光液为粒径范围在第一粒径阈值范围内的金刚石抛光液。

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