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龙图腾网获悉合肥先微半导体材料有限公司申请的专利一种氟和氮混合气高精度混配方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121466854B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610014250.3，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种氟和氮混合气高精度混配方法是由董宜忠设计研发完成，并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氟和氮混合气高精度混配方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氟和氮混合气高精度混配方法，本发明涉及氟氮混合配气技术领域，包括对气体的预处理、气体流量控制混合、动态混合以及混合气后处理，本发明的优点在于：通过对氟气采用量子级联激光诱导荧光技术的流量传感器与智能微机电系统流量控制器组合，对氮气采用基于声学涡街原理的高精度质量流量控制器，极大地提高了流量测量和控制精度，大幅提升半导体制造工艺的稳定性和可靠性，减少因气体混合问题导致的芯片缺陷，降低生产成本，提高生产效率通过在热交换器内部涂敷石墨烯‑陶瓷复合涂层，不仅使热交换器具有导热性能，同时能够增强对氟气的抗腐蚀性，当氟气通过热交换器时，热量能够通过热管迅速传递，实现高效热交换。

本发明授权一种氟和氮混合气高精度混配方法在权利要求书中公布了：1.一种氟和氮混合气高精度混配方法，包括对气体的预处理、气体流量控制混合、动态混合以及混合气后处理，其特征在于：所述氟和氮混合气高精度混配方法具体操作步骤如下： 步骤一、气体预处理，将氟气通入净化柱中过滤，过滤完成后通入热交换器，调节氟气流出温度； 步骤二、将氮气经过多级过滤，过滤完成后通入脱氧塔进行脱氧操作，完成后将其通过热交换器； 步骤三、将氟气和氮气通入混合室中进行混合，控制两种气体流量，设置混合室内环境条件，将氟气和氮气进行初步混合，制得初步混合气，采用量子级联激光诱导荧光技术流量传感器与智能微机电系统流量控制器控制氟气流量，采用基于声学涡街原理的质量流量控制器控制氮气流量； 步骤四、将初步混合完成的混合气通入特制动态混合器中，调节动态混合器，同时对初步混合气进行超声处理，混合后制得精制混合气，特制动态混合器内部设置有螺旋状的微通道，微通道壁面涂覆有一层功能性聚合物薄膜，聚合物薄膜由聚偏氟乙烯六氟丙烯共聚物和MOFs复合支持，在混合器内部均匀设置超声换能器； 步骤五、将混合气通过过滤装置进入稳压罐，控制罐内压力，监测管道内精制混合气参数，确保输出精制混合气为高精度混合状态。

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