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龙图腾网获悉东虹芯光(上海)高科技有限公司申请的专利一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121740235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610232394.6，技术领域涉及：G01J3/28；该发明授权一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统及方法是由田海波;汪洋设计研发完成，并于2026-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光谱分析的技术领域，公开了一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统及方法，该系统包括：光学输入模块用于接收待测光；准直光学元件，用于将待测光准直，形成平行光束；MEMS光栅扫描微镜，用于对平行光束进行色散分光；聚焦光学元件，用于对射入的光进行聚焦，形成不同波长的待测光信号；单元红外探测器，用于将待测光信号转换成电信号；信号处理模块，基于电信号提取待测光信号的强度，并识别电信号对应的待测光信号的波长，从而将待测光信号的波长与强度绑定，并绘制光谱图。本申请利用微机电系统集成微纳光学表面，结合高性能单元红外探测器，实现了红外光谱高精度、微型化测量，并提升了光栅扫描的抗误差能力。

本发明授权一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS光栅扫描的微型化光谱感知系统，其特征在于：包括： 光学输入模块110，设有入射狭缝，用于接收待测光；准直光学元件120，用于将所述待测光准直，形成平行光束； MEMS光栅扫描微镜130，用于对所述平行光束进行色散分光，并通过扫描运动使得不同波长的光依次反射进入聚焦光学元件140的入射孔径；聚焦光学元件140对射入的光进行聚焦，形成不同波长的待测光信号； 单元红外探测器150，用于将待测光信号转换成电信号；信号处理模块170，基于电信号提取待测光信号的强度，并识别电信号对应的待测光信号的波长，从而将待测光信号的波长与强度绑定，并绘制光谱图； 控制驱动模块160，用于驱动MEMS光栅扫描微镜130在所述扫描运动中引入相位标识信息；信号处理模块170基于所述相位标识信息校正电信号对应的待测光信号的波长； MEMS光栅扫描微镜130包括反射面131、驱动机构133、支撑梁134； 驱动机构133包括第二驱动器133b；所述驱动MEMS光栅扫描微镜130在所述扫描运动中引入相位标识信息，具体包括：生成第二驱动信号并发送至第二驱动器133b，第二驱动器133b基于所述第二驱动信号驱动反射面131围绕第二扫描轴进行抖动运动，使得进入聚焦光学元件140的入射孔径的光携带相位标识信息；所述相位标识信息包括抖动运动的相位和频率； 对于任一时刻，基于所述相位标识信息校正电信号对应的待测光信号的波长，具体包括： 将单元红外探测器150输出的电信号与相同时刻控制驱动模块160输出的第二驱动信号相乘，得到同步乘积信号； 对所述同步乘积信号进行低通滤波，得到电信号的复数解调量； 基于所述复数解调量提取电信号的相位残差，并基于所述相位残差计算电信号的调制相位； 基于电信号的调制相位修正对应时刻的转动角，并基于映射关系查询修正后的转动角对应的波长，作为校正结果。

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