上海新昇半导体科技有限公司汪宇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司申请的专利一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224169522U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520961586.1,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置是由汪宇;曹共柏;王华杰;郑华浩;王佳设计研发完成,并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置,本实用新型的用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置包括研磨盘和压力调节机构。研磨盘的中间区域为样品研磨区。压力调节机构设置于研磨盘的上方并且压力调节机构在研磨盘上的投影位于研磨盘的样品研磨区,压力调节机构包括多个不同重量的施压头、研磨杆和研磨头,研磨杆设置于研磨盘的样品研磨区的正上方,研磨头设置于研磨杆靠近研磨盘的一端,施压头可拆卸地安装于研磨杆远离研磨盘的一端。能够有效解决研磨装置的研磨压力调节不精确的问题,确保样品表面的均匀性和高质量。
本实用新型一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种用于扩散电阻测试样品制备的研磨装置,其特征在于,包括: 研磨盘,所述研磨盘的中间区域为样品研磨区; 压力调节机构,设置于所述研磨盘的上方,并且所述压力调节机构在所述研磨盘上的投影位于所述研磨盘的样品研磨区,所述压力调节机构包括多个不同重量的施压头、研磨杆和研磨头,所述研磨杆设置于所述研磨盘的所述样品研磨区的正上方,所述研磨头设置于所述研磨杆靠近所述研磨盘的一端,所述施压头可拆卸地安装于所述研磨杆远离所述研磨盘的一端。
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