上海新昇半导体科技有限公司郝道坤获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司申请的专利一种抛光机上料校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224169526U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521012762.3，技术领域涉及：B24B41/00；该实用新型一种抛光机上料校准装置是由郝道坤;胡建平;王良华设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光机上料校准装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种抛光机上料校准装置，包括固定盘、图像采集器和校准盘。其中，固定盘的中心处设置有上下贯穿的安装孔，固定盘的边缘处向上凸起形成挂靠部，挂靠部上设置有锁定装置，用于与抛光头形成固定连接。图像采集器竖直向下固定设置于安装孔内。校准盘的上表面设置用于指示中心位置的定位点。使用时，校准盘替代晶圆放置于物料盘上。本申请的技术方案能够对盛放晶圆的物料盘与抛光机的抛光头之间的相对位置进行检测和校准，其操作便捷、准确度高，可有效避免因操作人员经验不足或操作不规范导致的误差，提高了校准过程的精度和可靠性，从而提升校准效率和效果。
本实用新型一种抛光机上料校准装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光机上料校准装置，用于对盛放晶圆的物料盘与抛光机的抛光头之间的相对位置进行检测和校准，其特征在于，包括： 固定盘1，其中心处设置有上下贯穿的安装孔101，所述固定盘1的边缘处向上凸起形成挂靠部102，所述挂靠部102上设置有锁定装置105，用于与抛光头形成固定连接； 图像采集器2，竖直向下固定设置于所述安装孔101内； 校准盘3，其上表面设置用于指示中心位置的定位点；使用时，所述校准盘3替代晶圆放置于物料盘上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新昇半导体科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路1000号1-4幢、6-19幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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