上海玄亨科技股份有限公司魏辉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电吸盘的喷砂夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224169581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520957547.4，技术领域涉及：B24C9/00；该实用新型一种静电吸盘的喷砂夹具是由魏辉设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘的喷砂夹具在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种静电吸盘的喷砂夹具，用于喷砂过程中固定静电吸盘，所述喷砂夹具包括底座、多个可更换的上盖以及多个螺栓，底座用于放置静电吸盘，底座上设有多圈螺纹孔组，多圈螺纹孔组分别用于不同尺寸的静电吸盘的固定；多个上盖分别与不同尺寸的静电吸盘匹配，上盖中部开设有孔径大于所述晶圆承载面的通孔，上盖设有与一圈螺纹孔组中的螺纹孔一一对应的多个安装孔；螺栓穿过安装孔并旋入对应的螺纹孔，上盖压紧静电吸盘的环形台阶面，以固定静电吸盘。本实用新型的技术方案，避免了静电吸盘在喷砂作业中上下浮动的问题，且能够适配不同尺寸的静电吸盘在喷砂作用中的固定，不必针对每一尺寸的静电吸盘单独设计夹具。
本实用新型一种静电吸盘的喷砂夹具在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘的喷砂夹具，用于喷砂过程中固定静电吸盘，所述静电吸盘包括晶圆承载面和环绕所述晶圆承载面的环形台阶面，所述环形台阶面低于所述晶圆承载面，其特征在于，所述喷砂夹具包括： 底座，所述底座用于放置所述静电吸盘，所述底座上设有多圈螺纹孔组，多圈所述螺纹孔组分别用于不同尺寸的所述静电吸盘的固定； 多个可更换的上盖，多个所述上盖分别与不同尺寸的所述静电吸盘匹配，所述上盖中部开设有孔径大于所述晶圆承载面的通孔，所述上盖设有与一圈所述螺纹孔组中的螺纹孔一一对应的多个安装孔； 多个螺栓，所述螺栓穿过所述安装孔并旋入对应的所述螺纹孔，所述上盖压紧所述静电吸盘的所述环形台阶面，以固定所述静电吸盘。
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