丰豹智能科技(上海)有限公司叶文君获国家专利权
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龙图腾网获悉丰豹智能科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆清洗轮设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178558U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520816096.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗轮设备是由叶文君;吴明进;王永洁设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗轮设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗轮设备，属于晶圆加工技术领域，包括支架和清洗轮，所述支架的侧面转动连接有清洗轮，晶圆嵌入所述清洗轮的沟槽内并与清洗轮过盈配合；所述清洗轮位于沟槽入口处的边缘设置有倒圆角一，所述清洗轮的沟槽的底部设置有倒圆角二，所述倒圆角二小于晶圆的边缘倒圆角尺寸，所述清洗轮由电机驱动，通过传动组件将若干清洗轮连接在一起。本实用新型能够减少晶圆在清洗轮上打滑，增加晶圆和清洗轮之间的吸附力。
本实用新型一种晶圆清洗轮设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗轮设备，其特征在于：包括支架和清洗轮，所述支架的侧面转动连接有清洗轮，晶圆嵌入所述清洗轮的沟槽内并与清洗轮过盈配合；所述清洗轮位于沟槽入口处的边缘设置有倒圆角一，所述清洗轮的沟槽的底部设置有倒圆角二，所述倒圆角二小于晶圆的边缘倒圆角尺寸，所述清洗轮由电机驱动，通过传动组件将若干清洗轮连接在一起。
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