昆山迈瑞凯精密工业有限公司华俊义获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山迈瑞凯精密工业有限公司申请的专利手持晶圆吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192411U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521587000.6，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型手持晶圆吸盘是由华俊义;龚首琳;李霄雷设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本手持晶圆吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了手持晶圆吸盘，包括晶圆吸附盘，所述晶圆吸附盘顶端中部安装有气控基座，所述气控基座外侧连接有多个呈环形阵列分布的气流分支座，所述气控基座中部开设有主气腔，其外壁开设有与主气腔相连通的气源接入孔，所述气源接入孔的外端连接有气源连接管，主气腔内的分流气道与气流分支座内部的气流通道一一对应连通，所述气流分支座底端中部安装有气密封垫，所述气控基座上开设有平衡排气孔，本实用新型所设计的手持晶圆吸盘，通过非接触式吸附设计，利用伯努利效应实现晶圆稳定吸附，避免传统机械夹持或接触式真空吸附导致的表面划伤、边缘崩裂及污染问题。
本实用新型手持晶圆吸盘在权利要求书中公布了：1.手持晶圆吸盘，包括晶圆吸附盘1，其特征在于，所述晶圆吸附盘1顶端中部安装有气控基座2，所述气控基座2外侧连接有多个呈环形阵列分布的气流分支座3，且气流分支座3远离气控基座2的一端底部贯穿晶圆吸附盘1设置； 所述气控基座2中部开设有主气腔22，其外壁开设有与主气腔22相连通的气源接入孔23，所述气源接入孔23的外端连接有气源连接管4，所述气源连接管4用于连接外部高压气源； 所述气流分支座3内部开设有气流通道31，所述主气腔22内壁开设有多个分流气道24，且分流气道24与气流通道31一一对应连通； 所述气流分支座3底端中部安装有气密封垫5，所述气控基座2上贯穿开设有多个呈环形阵列分布的平衡排气孔25。
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