佳能特机株式会社菅原洋纪获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211595476.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权溅射装置是由菅原洋纪;内田敏治设计研发完成，并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种减少遮蔽构件的更换频度的溅射装置。溅射装置具备：靶材，其向基板飞散溅射粒子；以及遮蔽构件，其位于所述基板与所述靶材之间，在成膜时限制相对于所述基板的溅射粒子的飞散范围，其中，所述遮蔽构件是具有外周面的旋转体，通过所述旋转体的旋转，变更所述外周面中的与所述靶材相向的区域。
本发明授权溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射装置，所述溅射装置具备： 靶材，其向基板飞散溅射粒子；以及 遮蔽构件，其位于所述基板与所述靶材之间，在成膜时限制相对于所述基板的溅射粒子的飞散范围， 其特征在于， 所述遮蔽构件是具有外周面的旋转体， 通过所述遮蔽构件的旋转，变更所述外周面中的与所述靶材相向的区域， 所述溅射装置具备： 驱动源，其输出使所述遮蔽构件旋转的驱动力；以及 控制部件，其控制所述驱动源， 所述靶材是旋转靶材， 所述驱动源是使所述遮蔽构件和所述靶材同时旋转的共用的驱动源， 所述遮蔽构件是在成膜过程中绕旋转中心线连续地旋转的圆筒形状的旋转体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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