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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利可动镜组、光学元件系统及光刻系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118732202B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310333347.7，技术领域涉及：G02B7/00；该发明授权可动镜组、光学元件系统及光刻系统是由杨若霁;洪国;王彦飞;李运锋设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本可动镜组、光学元件系统及光刻系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种可动镜组、光学元件系统及光刻系统。其中，可动镜组内的第一镜座和第二镜座均包括支撑组件、驱动组件和传动组件。支撑组件和传动组件内均设置有通气结构，以形成驱动气膜、支撑气膜和定心气膜。基于空气静压原理，各气膜均具有较强的刚度，不仅能提高可动镜组的耐冲击性，还能实现对镜片结构的位置调整，提高成像质量。因第一镜座中的定心气膜呈环形，第二镜座中的定心气膜呈球环状，故第一镜座可实现垂向位置调节，第二镜座可实现水平向转动调节，且在第一镜座和第二镜座的组合下可实现三自由度调节。此外，本发明通过在各接触面内形成气膜，使可动镜组接近于零磨损运行机构，能有效缓解摩擦颗粒污染镜片的问题。

本发明授权可动镜组、光学元件系统及光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种可动镜组，其特征在于，包括：镜片结构、第一镜座和或第二镜座； 所述第一镜座和所述第二镜座均包括支撑组件、驱动组件和传动组件；所述支撑组件分别承载所述镜片结构和所述驱动组件，且所述支撑组件内设置有多个通气结构，以能够在所述支撑组件与所述驱动组件的接触面形成支撑气膜，以及在所述支撑组件与所述镜片结构的接触面形成定心气膜；所述传动组件分别与所述驱动组件和所述镜片结构相接，且所述传动组件内也设置有多个所述通气结构，以能够在所述驱动组件与所述传动组件的接触面形成驱动气膜； 其中，所述第一镜座的所述定心气膜呈环形，所述第二镜座的所述定心气膜呈球环形，则在所述驱动组件运动时，所述驱动气膜推动所述传动组件运动，且所述第一镜座的所述传动组件能够带动所述镜片结构沿垂向移动，所述第二镜座的所述传动组件能够带动所述镜片结构沿水平向转动； 以及，当所述可动镜组包括所述第一镜座和所述第二镜座时，所述镜片结构承载于所述第二镜座的所述支撑组件上，且述第二镜座的所述支撑组件与所述第一镜座的所述传动组件相接。

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