西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司董佳佳获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种研磨设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118769123B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411113377.8,技术领域涉及:B24B37/08;该发明授权一种研磨设备是由董佳佳;郭宏雁;孙介楠;陈曦鹏;赵静设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨设备在说明书摘要公布了:本公开提供一种研磨设备,包括:下定盘,包括相背设置的工作盘面和底面,所述工作盘面上设有呈网状分布的导流沟槽,且所述导流沟槽的若干沟槽交叉节点处设有贯穿所述工作盘面和所述底面的导流孔;中转回收单元,包括设有腔室的中转构件和回收容器,所述导流孔连通至所述中转构件的腔室,所述回收容器的腔室连通至所述中转构件的腔室;负压产生单元,与所述回收容器连通,用于为所述回收容器的内腔提供负压环境,以使所述导流沟槽中残留物经过所述导流孔流入所述中转构件的腔室。本公开提供额一种研磨设备能够有效清洁研磨盘面,提升研磨产品品质。
本发明授权一种研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种研磨设备,其特征在于,包括: 下定盘,包括相背设置的工作盘面和底面,所述工作盘面上设有呈网状分布的导流沟槽,且所述导流沟槽的若干沟槽交叉节点处设有贯穿所述工作盘面和所述底面的导流孔; 中转回收单元,包括设有腔室的中转构件和回收容器,所述导流孔连通至所述中转构件的腔室,所述回收容器的腔室连通至所述中转构件的腔室;及 负压产生单元,与所述回收容器连通,用于为所述回收容器的内腔提供负压环境,以使所述导流沟槽中残留物经过所述导流孔流入所述中转构件的腔室; 所述中转回收单元还包括转换轮盘和多个连接导管;其中,所述转换轮盘位于所述底面的下方,且与所述下定盘可同步转动;所述转换轮盘上设有贯通该转换轮盘轴向相对两面的贯通孔,所述贯通孔与所述导流孔一一对应、并通过对应的所述连接导管连接;所述转换轮盘相对所述中转构件可转动,所述中转构件的腔室位于所述转换轮盘的下方,且所述中转构件的腔室顶部设有开口,以盛接所有所述贯通孔流出的残留物;所述中转构件包括:与所述转换轮盘的形状适配的主体,以及转动组件,所述转动组件设于所述转换轮盘与所述主体之间,以使所述转换轮盘相对所述主体可转动;所述主体内部中空以形成所述中转构件的腔室,所述腔室的开口与所述转换轮盘的底部对接,以使所述腔室与所有所述贯通孔相通;所述主体在所述腔室的开口边沿向上延伸形成延伸部,所述延伸部位于所述转换轮盘的外周侧,且所述转动组件包括轴承组件,所述轴承组件位于所述转换轮盘与所述延伸部之间。
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