株式会社斯库林集团清水进二获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119864294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411437638.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由清水进二;本庄一大;菊本宪幸设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够高精度地确定排液部内的处理液的基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置100包括腔室112、基板保持部120、处理液供给部130、排液部190、至少一个近红外线光源140、近红外摄像部150及控制部102。基板保持部收容于腔室。基板保持部保持基板W。处理液供给部在不同的定时向基板供给多种处理液。排液部将多种处理液向腔室外排液。至少一个近红外线光源利用近红外线照射包含排液部的至少一部分的区域AR1。近红外摄像部拍摄利用近红外线照射的排液部内的多种处理液并生成拍摄图像。控制部基于拍摄图像来确定排液部内的处理液的种类。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 腔室； 保持基板的基板保持部，其收容于所述腔室； 处理液供给部，其在不同的定时向所述基板供给多种处理液； 排液部，其将所述多种处理液向腔室外排出； 至少一个近红外线光源，其利用近红外线照射包含所述排液部的至少一部分在内的区域； 近红外摄像部，其通过接受透射所述排液部内的部件以及或者被反射的所述近红外线，拍摄被所述近红外线照射的所述排液部内的所述多种处理液并生成拍摄图像；以及 控制部，其控制所述近红外摄像部， 所述控制部基于所述拍摄图像和基准处理液的亮度值、明度或者图像来确定所述排液部内的所述处理液的种类。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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