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安徽国芯光刻技术有限公司章广飞获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽国芯光刻技术有限公司申请的专利直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121770666B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610251065.6,技术领域涉及:H04J3/06;该发明授权直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统是由章广飞;王运钢;薛业保设计研发完成,并于2026-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻机数据传输技术领域,公开了直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统。该系统包括动态曝光脉冲分析模块,其基于历史运行数据构建分布式传输延迟计算模型,实时采集激光触发脉冲序列等数据并输出理论传输同步值;多通道时序偏移检测模块通过多维度比对理论值与实际传输时序,生成节点级多通道时序偏移矩阵;空间拓扑映射模块结合物理位置与链路阻抗参数,生成时序异常传播路径概率分布云图以定位高延迟区域;动态带宽分配模块据此配置传输策略,对高延迟区域启用冗余通道并行传输,对相邻节点实施动态时钟偏移补偿,有效提升了数据传输的同步稳定性与传输效率。

本发明授权直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统在权利要求书中公布了:1.一种直写光刻机超高速分布式数据传输同步系统,其特征在于,包括: 动态曝光脉冲分析模块:基于光刻机曝光头历史运行数据构建分布式传输延迟计算模型,实时采集各曝光节点的激光触发脉冲序列、数据传输包时间戳及节点时钟偏移量,通过所述分布式传输延迟计算模型输出理论传输同步值; 多通道时序偏移检测模块:将所述理论传输同步值与实际物理层捕获的传输时序进行多维度比对,所述多维度比对包括脉冲触发累积时差、数据包到达间隔抖动及时钟漂移频谱分量,生成节点级的多通道时序偏移矩阵; 空间拓扑映射模块:将所述多通道时序偏移矩阵输入空间拓扑映射网络,结合光刻机曝光头物理位置坐标与数据传输链路阻抗参数,生成节点间时序异常传播路径的概率分布云图,定位高延迟物理区域; 动态带宽分配模块:根据所述概率分布云图配置传输策略,包括: 对高延迟物理区域启用冗余数据通道并行传输模式; 对相邻节点链路实施动态时钟偏移补偿。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽国芯光刻技术有限公司,其通讯地址为:230041 安徽省合肥市包河经济开发区中关村协同智汇园B4栋5层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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