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晨杨科技股份有限公司陈世贤获国家专利权

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龙图腾网获悉晨杨科技股份有限公司申请的专利适用于天车系统的半导体加工设备机柜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224198647U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520493080.2,技术领域涉及:B65G47/74;该实用新型适用于天车系统的半导体加工设备机柜是由陈世贤设计研发完成,并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

适用于天车系统的半导体加工设备机柜在说明书摘要公布了:本申请公开了一种适用于天车系统的半导体加工设备机柜,包含一底层部、一中层部以及一机箱部。底层部具有一顶部。中层部沿一垂直方向设置于该底层部之上,并且该中层部不覆盖或局部地覆盖该顶部,使该顶部未被覆盖的部分成为一设置平台。机箱部沿该垂直方向设置于中层部之上。在该垂直方向上,机箱部于该顶部的投影,仅局部重迭于该设置平台,使得该设置平台其余部分的上方呈现开放而不被遮挡。本申请设置平台的上方可以被净空,以利垂直方向的晶圆移转。因此,天车系统可应用于设置平台上的晶圆移转,提升晶圆移转效率。此外,天车是垂直移动晶圆至较高处后再进行水平移转,不会干扰机柜周遭的水平动线,有利于操作场所中的动线安排。

本实用新型适用于天车系统的半导体加工设备机柜在权利要求书中公布了:1.一种适用于天车系统的半导体加工设备机柜,其特征在于,包括: 底层部,具有顶部; 中层部,沿垂直方向设置于所述底层部之上,并且所述中层部不覆盖或局部地覆盖所述顶部,使所述顶部未被覆盖的部分成为设置平台;以及 机箱部,沿所述垂直方向设置于中层部之上; 其中,在所述垂直方向上,机箱部于所述顶部的投影,仅局部重迭于所述设置平台,使得所述设置平台其余部分的上方呈现开放而不被遮挡。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人晨杨科技股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹县竹北市鹿场里自强三路216号6楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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