成川科技(苏州)有限公司张坚获国家专利权
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龙图腾网获悉成川科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆盒夹持结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224199006U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423172069.0,技术领域涉及:B66C1/42;该实用新型一种晶圆盒夹持结构是由张坚设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒夹持结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆盒夹持结构,设置在搬运天车上,其包括:支撑座,与搬运天车连接;驱动机构包括伺服电机、丝杆、第一驱动架和驱动臂;夹持结构用于夹取晶圆盒;夹持结构包括第一夹爪组件和第二夹爪组件,第一夹爪组件和第二夹爪组件均包括第二驱动架和夹爪,夹爪固定在第二驱动架的底部,第二驱动架与驱动臂连接;防滑出机构设置在夹爪上,用于阻挡晶圆从晶圆盒中滑出;防滑出机构包括阻挡臂、第一随动滚轮、第二随动滚轮,阻挡臂与夹爪连接,且阻挡臂能够在夹爪的侧面发生转动。本实用新型防滑出机构和凸轮顶起机构防止晶圆在搬运过程中滑出晶圆盒,保护晶圆不受损害,并且夹持机构在夹取晶圆盒时,能够适应不同尺寸和重量的晶圆盒。
本实用新型一种晶圆盒夹持结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒夹持结构,设置在搬运天车上,其特征在于:包括: 支撑座,与搬运天车连接; 驱动机构,其包括伺服电机、丝杆、第一驱动架和驱动臂,所述伺服电机和丝杆均设置在所述支撑座上,所述伺服电机的输出轴与所述丝杆的一端连接,所述第一驱动架与所述丝杆螺纹连接,所述第一驱动架的两端分别连接驱动臂; 夹持结构,用于夹取晶圆盒;所述夹持结构包括第一夹爪组件和第二夹爪组件,所述第一夹爪组件和第二夹爪组件均包括第二驱动架和夹爪,所述夹爪固定在所述第二驱动架的底部,所述第二驱动架与所述驱动臂连接; 防滑出机构,设置在所述夹爪上,用于阻挡晶圆从晶圆盒中滑出;所述防滑出机构包括阻挡臂、第一随动滚轮、第二随动滚轮,所述阻挡臂与所述夹爪通过转轴连接,且所述阻挡臂能够在所述夹爪的侧面发生转动;所述第一随动滚轮设置在所述阻挡臂的端部上方,所述第二随动滚轮设置在所述阻挡臂的中间位置的底部; 凸轮顶起机构,设置在所述支撑座上,用于控制所述阻挡臂张开或收拢;当夹持结构处于到打开状态时,凸轮顶起机构把第一随动滚轮顶起,阻挡臂打开,远离晶圆盒;当夹持结构与晶圆盒接触时,第二随动滚轮接触到晶圆盒上表面,将阻挡臂顶起,阻挡臂收拢,靠近晶圆盒。
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